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Vakuumkompatibler Tisch MT105 series
linearpiezoelektrischmit Linearmotor

Vakuumkompatibler Tisch - MT105 series - Steinmeyer Mechatronik GmbH - linear / piezoelektrisch / mit Linearmotor
Vakuumkompatibler Tisch - MT105 series - Steinmeyer Mechatronik GmbH - linear / piezoelektrisch / mit Linearmotor
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Eigenschaften

Ausrichtung
linear
Typ
mit Linearmotor
Weitere Eigenschaften
Hochpräzision, vakuumkompatibel, nichtmagnetisch, Hochgeschwindigkeit, für Schwerlast, für Wafer-Handling, maßgefertigt, universell
Hub

30 mm, 50 mm, 100 mm
(1,181 in, 1,969 in, 3,937 in)

Geschwindigkeit

5 mm/s, 50 mm/s

Beschreibung

Vakuum: alle Bereiche HV / UHV / EUV bis 10E-11 mbar Schmierung flüssig bis 10E-8 / trocken bis 10E-11 mbar Max. Ausheiztemperatur: 120°C Optional konfigurierbar: • Verfügbar als magnetische, magnetarme und magnetfreie Ausführung • Mit bis zu 2 verschiedenen Motoren für die Bewegung hoher Lasten • Verschiedene Motorvarianten: Nanomotion, Piezo Motor oder Linearmotor • Kombinierbar zum XYZ Positioniersystem • Kombinierbar mit Drehtischen (z.B. DT105) für rotatorische Anwendungen • Individuelle Anpassung an die Einbausituation in der Kammer • Ausführung für Reinraum ISO 14644-1 (bis Klasse 1 auf Anfrage) • Optional mit Controller FMC400/450 Flexibel und universell für anspruchsvolle Umgebungsbedingungen Der MT105 ist ein universell einsetzbarer Mikrotisch, der vor allem durch seine hohe Dynamik und Geschwindigkeit überzeugt. Er ist dafür ausgelegt unter extremen Bedin­gungen, wie im Hochvakuum, im Ultra­-Hochvakuum und für nicht­-magnetische Anwendungen, hervorragende Ablauf­- und Positionier­genauigkeiten zu erreichen. Optional besteht die Möglichkeit, den Mikrotisch mit zwei Motoren auszu­statten, um höhere Lasten zu positionieren Anwendungsbereiche Halbleitertechnik im Ultrahochvakuum und unter extrem ultravioletter Strahlung, Waferjustage, Kamerajustage, Sensorjustage, Inspektion von Kontakten, Ausrichten von Spiegeln, Probing, Vakuumkammern, Forschung, Beamline-Instrumentierung, Elektronikmontage und -inspektion, Hochpräzise Scananwendungen, Mikromontage

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* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.