Vakuum: alle Bereiche HV / UHV / EUV bis 10E-11 mbar
Schmierung flüssig bis 10E-8 / trocken bis 10E-11 mbar
Max. Ausheiztemperatur: 120°C
Optional konfigurierbar:
• Verfügbar als magnetische, magnetarme und magnetfreie Ausführung
• Mit bis zu 2 verschiedenen Motoren für die Bewegung hoher Lasten
• Verschiedene Motorvarianten: Nanomotion, Piezo Motor oder Linearmotor
• Kombinierbar zum XYZ Positioniersystem
• Kombinierbar mit Drehtischen (z.B. DT105) für rotatorische Anwendungen
• Individuelle Anpassung an die Einbausituation in der Kammer
• Ausführung für Reinraum ISO 14644-1 (bis Klasse 1 auf Anfrage)
• Optional mit Controller FMC400/450
Flexibel und universell für anspruchsvolle Umgebungsbedingungen
Der MT105 ist ein universell einsetzbarer Mikrotisch, der vor allem durch seine hohe Dynamik und Geschwindigkeit überzeugt. Er ist dafür ausgelegt unter extremen Bedingungen, wie im Hochvakuum, im Ultra-Hochvakuum und für nicht-magnetische Anwendungen, hervorragende Ablauf- und Positioniergenauigkeiten zu erreichen. Optional besteht die Möglichkeit, den Mikrotisch mit zwei Motoren auszustatten, um höhere Lasten zu positionieren
Anwendungsbereiche
Halbleitertechnik im Ultrahochvakuum und unter extrem ultravioletter Strahlung, Waferjustage, Kamerajustage, Sensorjustage, Inspektion von Kontakten, Ausrichten von Spiegeln, Probing, Vakuumkammern, Forschung, Beamline-Instrumentierung, Elektronikmontage und -inspektion, Hochpräzise Scananwendungen, Mikromontage