Vakuumkompatibler Tisch KDT310 series

XYmotorisiert2-Achs

• Vakuum: alle Bereiche HV / UHV bis 10E-8 mbar • Schmierung flüssig bis 10E-8 • Max. Ausheiztemperatur: 100°C • Durchlicht in X mit 90 x 90 mm, Y 150 x 150 mm Das Positioniersystem mit Durchlichtöffnung wurde aus zwei Lineartischen zu einem präzisen und hochbelastbaren Kreuztisch für Anwendungen im Hochvakuum und Ultrahochvakuum kombiniert. Sein Konzept mit Profilschienenführungen und hochpräzisen Kugelgewindetrieben ermöglicht hervorragende Präzision bei optimaler Nutzung des Bauraums. Er lässt sich einfach mit dem Drehtisch DT155 kombinieren, woraus sich vielfältige Anwendungen ergeben. Anwendungsbereiche Präzisionspositionierung für Laboranwendungen, Mikroskopie und Halbleitertechnik, Forschung im Ultrahochvakuum und unter extrem ultravioletter Strahlung, Probenvorbereitung, Probenscan, Probenhandling, Biochips, Wafer Inspektion, Waferjustage, Kamerajustage, Materialforschung, Materialanalyse, Beamline, Beschleuniger, Synchrotron