Positioniersystem für Wafer-Inspektion und Metrologie KT470-SM

XYZlinearfür Reinraum

Dieses Insspektionssystem besteht aus der XY-Stage KT470 auf einer Granitstruktur mit manueller Z-Vertikaleinheit . Diese Kombination eignet sich für den flexiblen und modularen Aufbau von Produktionsanlagen / Inline-Prozessen für Reinräume und kann wahlweise mit Dreh- oder motorisierten Z-Achsen erweitert werden. Ideal für flexible Inspektionsprozesse von Wafern bis 12 inch / 300 mm Halterung für wechselbare Prozessköpfe (Mikroskop, Sensor, ...) Verschiedene Scanbereiche und manuelle Höhenverstellung (wahlweise motorisiert mit Motion Controller) Wartungsarm bei 24/7-Produktion bis Reinraumklasse ISO 6 (höher auf Anfrage) Optionen: Erweiterbare Verfahrwege XY 200 - 350 mm, Z 200 - 400 mm Anpassung an den Prozess: Apertur, Probenhalterung, Erweiterung zusätzlicher (motorisierter) Z-Achsen Angepasste Vibrationsentkopplung mittels dämpfender Gummizwischenlage oder pneumatischer Dämpfern Sicherheitskonzept und -technik (Not-Aus, Türschalter, Lichtgitter, Laserscanner, STO, SLS) Individueller Aufbau mit Gestell, Umhausung oder Einbindung in die Fab Kundenspezifische Entwicklung mit 3D-Entwurf, Prototypen, Serienproduktion