Linearer Positioniertisch KT106/170

elektrisch1-AchsPräzision

KT106/170-SM XY-Proben-Stage HV, UV / DUV, ISO 4, Hub 136 x 170 mm, Repro 0.6 µm, Last 5 kg, Speed 20 mm/s • - Reinraum: Varianten bis Klasse ISO 4 (höher auf Anfrage) • - Vakuum: alle Bereiche HV bis 10-7 mbar • - Schmierung flüssig bis 10-7 mbar • - Max. Ausheiztemperatur: 100°C • - Optimiertes Preis-Leistungs-Verhältnis Optional konfigurierbar: • - Kombinierbar mit Drehtischen (z.B. DT105) • - Ausführung für Reinraum, Labor oder Produktion • - Kundenspezifische Entwicklung mit 3D-Entwurf, Prototypen, Serienproduktion • - Optional mit Controller FMC400/450 Anwendungsbereiche Positionierung für die Halbleitertechnik, Mikro- oder Nanofabrikation, Massenspektrometer, Photoelektronenspektrometer, Laboranwendungen, Mikroskopie, Forschung im Hochvakuum, Probenvorbereitung, Probenscan, Probenhandling, Wafer Inspektion, Materialforschung, Materialanalyse