Linearer Positioniertisch PLT240

elektrisch1-AchsPräzision

PLT240 Präzise Hochlast-Linear-Stage HV / UV / DUV, ISO 6, Hub 50 - 850 mm, Last 100 kg, Repro 0.4 µm, Breite 240 • - Reinraum: Varianten bis Klasse ISO 6 (höher auf Anfrage) • - Vakuum: alle Bereiche im Hochvakuum, Schmierung flüssig bis 10-7 • - Max. Ausheiztemperatur: 80°C Optionen • - Wiederholgenauigkeit mit Regelung auf Maßstab oder Open Loop für gerringere Genauigkeitsanforderungen • - Gleitgewindetrieb mit Trockenschmierung oder Kugelgewindetrieb mit Flüssigschmierung • - Ausführung für Reinraum, Vakuum und Strahlung • - Auslegung Stickstoffatmosphäre • - Kundenspezifische Entwicklung mit 3D-Entwurf, Prototypen, Serienproduktion • - Optional mit Controller FMC400/450 Anwendungsbereiche Semiconductor Manufacturing & Handling, Hochlast-DUV-Positionierung, Positionierung für Scananwendungen, Transfer Positioniering, Halbleitertechnik, Ultrahochvakuum, Vakuumkammern, Forschung, Beamline-Instrumentierung, Elektronikmontage und -inspektion