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- Linearer Positioniertisch
- Steinmeyer Holding GmbH
Linearer Positioniertisch MDT85-PMpiezoelektrisch1-AchsPräzision
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Eigenschaften
- Ausrichtung
- linear
- Typ
- piezoelektrisch
- Achszahl
- 1-Achs
- Weitere Eigenschaften
- Präzision, Industrie, für Wafer-Handling
- Hub
Max: 10 mm
(0,394 in)Min: 1 mm
(0,039 in)- Geschwindigkeit
Max: 5 mm/s
Min: 2,5 mm/s
- Wiederholbarkeit
Max: 0,3 µm
Min: 0,2 µm
- Ladung
Max: 1,5 kg
(3,31 lb)Min: 1,2 kg
(2,65 lb)
Beschreibung
MDT85-PM
Apertur-Miniatur-Lineartisch
114 x 84 x 28 mm, UHV / DUV / EUV, ISO 6, Hub 10 mm, Repro 0.2 µm, Last 1.5 kg, Speed 5 mm/s
• - Reinraum: Varianten bis Klasse ISO 6 (höher auf Anfrage)
• - Vakuum: alle Bereiche HV / UHV
• - Strahlung: UV / DUV / EUV
• - Schmierung: flüssig bis 10-8 / trocken bis 10-11 mbar
• - Max. Ausheiztemperatur: 140°C
Optionen:
• - Mit oder ohne Apertur (Ø 25 mm)
• - Stapelbar zum kompakten 3-Achs-Positioniersystem
• - Magnetismus: magnetisch, magnetarm, magnetfrei
• - EUV-Schmierung, flourfreie / PFAS-freie UHV-Schmierung
• - Kundenspezifische Entwicklung mit 3D-Entwurf, Prototypen, Serienproduktion
Anwendungsfelder
Positionierung in kleinen Bauräumen im EUV-Reinraum z.B. Kamera, Mikroskop / Sensor (AFM, WLI), Durchlichtmessungen, Mikrosopie-Positionierung, Aufbau von platzsparenden XYZ Mehrachssystemen, Manipulator für Industrie und Forschung, Kompakte Reinraum-Positioniersysteme, Halbeiterjustage, Strahlinspektion
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Reinraum-, Vakuum- und Strahlungskompatible Positioniersysteme: Lineartische, Hubtische, XY-Tische, Rotationstische
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* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.