- Mechanik - Antriebstechnik
- Aktuator und Positioniersystem
- Linearer Positioniertisch
- Steinmeyer Holding GmbH
Linearer Positioniertisch MDT85-PMpiezoelektrisch1-AchsPräzision
Zu meinen Favoriten hinzufügen
Zum Produktvergleich hinzufügen
Eigenschaften
- Ausrichtung
- linear
- Typ
- piezoelektrisch
- Achszahl
- 1-Achs
- Weitere Eigenschaften
- Präzision, Industrie, für Wafer-Handling
- Hub
Min: 1 mm
(0,039 in)Max: 10 mm
(0,394 in)- Geschwindigkeit
Min: 2,5 mm/s
Max: 5 mm/s
- Wiederholbarkeit
Min: 0,2 µm
Max: 0,3 µm
- Ladung
Min: 1,2 kg
(2,65 lb)Max: 1,5 kg
(3,31 lb)
Beschreibung
MDT85-PM
Apertur-Miniatur-Lineartisch
114 x 84 x 28 mm, UHV / DUV / EUV, ISO 6, Hub 10 mm, Repro 0.2 µm, Last 1.5 kg, Speed 5 mm/s
• - Reinraum: Varianten bis Klasse ISO 6 (höher auf Anfrage)
• - Vakuum: alle Bereiche HV / UHV
• - Strahlung: UV / DUV / EUV
• - Schmierung: flüssig bis 10-8 / trocken bis 10-11 mbar
• - Max. Ausheiztemperatur: 140°C
Optionen:
• - Mit oder ohne Apertur (Ø 25 mm)
• - Stapelbar zum kompakten 3-Achs-Positioniersystem
• - Magnetismus: magnetisch, magnetarm, magnetfrei
• - EUV-Schmierung, flourfreie / PFAS-freie UHV-Schmierung
• - Kundenspezifische Entwicklung mit 3D-Entwurf, Prototypen, Serienproduktion
Anwendungsfelder
Positionierung in kleinen Bauräumen im EUV-Reinraum z.B. Kamera, Mikroskop / Sensor (AFM, WLI), Durchlichtmessungen, Mikrosopie-Positionierung, Aufbau von platzsparenden XYZ Mehrachssystemen, Manipulator für Industrie und Forschung, Kompakte Reinraum-Positioniersysteme, Halbeiterjustage, Strahlinspektion
Kataloge
Für dieses Produkt ist kein Katalog verfügbar.
Alle Kataloge von Steinmeyer Holding GmbH anzeigenMessen
Sie können diesen Hersteller auf den folgenden Messen antreffen
Precision Fair 2024
13-14 Nov. 2024 Brabanthallen, 's-Hertogenbosch - The Netherland (Niederlande)
Mehr Informationen
Weitere Produkte von Steinmeyer Holding GmbH
Reinraum-, Vakuum- und Strahlungskompatible Positioniersysteme: Lineartische, Hubtische, XY-Tische, Rotationstische
Verwandte Suchbegriffe
- Steinmeyer Positioniertisch
- Steinmeyer linearer Positioniertisch
- Steinmeyer motorisierter Positioniertisch
- Steinmeyer Präzisions-Positioniertisch
- Steinmeyer 1-Achs-Positioniertisch
- Manueller Tisch
- Steinmeyer 2-Achs-Positioniertisch
- Steinmeyer kompakter Positioniertisch
- XY-Tisch
- Steinmeyer drehbarer Positioniertisch
- Mehrachsentisch
- Steinmeyer Aluminium-Positioniertisch
- Hochpräzisionstisch
- Steinmeyer piezoelektrischer Positioniertisch
- Mikrometertisch
- Kugelgewindespindel-Tisch
- Steinmeyer Industrie-Positioniertisch
- 3-Achs-Tisch
- XYZ-Tisch
- Steinmeyer lineares Positioniersystem
* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.