Linearer Positioniertisch MDT85-PM

piezoelektrisch1-AchsPräzision

MDT85-PM Apertur-Miniatur-Lineartisch 114 x 84 x 28 mm, UHV / DUV / EUV, ISO 6, Hub 10 mm, Repro 0.2 µm, Last 1.5 kg, Speed 5 mm/s • - Reinraum: Varianten bis Klasse ISO 6 (höher auf Anfrage) • - Vakuum: alle Bereiche HV / UHV • - Strahlung: UV / DUV / EUV • - Schmierung: flüssig bis 10-8 / trocken bis 10-11 mbar • - Max. Ausheiztemperatur: 140°C Optionen: • - Mit oder ohne Apertur (Ø 25 mm) • - Stapelbar zum kompakten 3-Achs-Positioniersystem • - Magnetismus: magnetisch, magnetarm, magnetfrei • - EUV-Schmierung, flourfreie / PFAS-freie UHV-Schmierung • - Kundenspezifische Entwicklung mit 3D-Entwurf, Prototypen, Serienproduktion Anwendungsfelder Positionierung in kleinen Bauräumen im EUV-Reinraum z.B. Kamera, Mikroskop / Sensor (AFM, WLI), Durchlichtmessungen, Mikrosopie-Positionierung, Aufbau von platzsparenden XYZ Mehrachssystemen, Manipulator für Industrie und Forschung, Kompakte Reinraum-Positioniersysteme, Halbeiterjustage, Strahlinspektion