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- Linearer Positioniertisch
- Steinmeyer Holding GmbH
Linearer Positioniertisch MT85piezoelektrisch1-AchsPräzision
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Eigenschaften
- Ausrichtung
- linear
- Typ
- piezoelektrisch
- Achszahl
- 1-Achs
- Weitere Eigenschaften
- Präzision, Industrie, für Wafer-Handling
- Hub
Max: 50 mm
(1,969 in)Min: 25 mm
(0,984 in)- Geschwindigkeit
Max: 5 mm/s
Min: 2,5 mm/s
- Wiederholbarkeit
Max: 0,3 µm
Min: 0,2 µm
- Ladung
Max: 15 kg
(33,07 lb)Min: 6 kg
(13,23 lb)
Beschreibung
MT85-PM
Vakuum / Reinraum Linearachsen und Lineartische
• - Reinraum: Varianten bis Klasse ISO 6 (höher auf Anfrage)
• - Vakuum: alle Bereiche HV / UHV
• - Strahlung: UV / DUV / EUV
• - Schmierung: flüssig bis 10-8 / trocken bis 10-11 mbar
• - Max. Ausheiztemperatur: 140°C
Optionen:
• - Stapelbar zum kompakten 3-Achs-Positioniersystem
• - Magnetismus: magnetisch, magnetarm, magnetfrei
• - Mit bis zu 2 Motoren für doppelte Last
• - EUV-Schmierung, flourfreie / PFAS-freie UHV-Schmierung
• - Kundenspezifische Entwicklung mit 3D-Entwurf, Prototypen, Serienproduktion
Anwendungsfelder
Positionierung in kleinen Bauräumen im EUV-Reinraum z.B. Kamera, Mikroskop / Sensor (AFM, WLI), Aufbau von platzsparenden XYZ Mehrachssystemen, Manipulator für Industrie und Forschung, Kompakte Reinraum-Positioniersysteme, Halbeiterjustage
Kataloge
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Reinraum-, Vakuum- und Strahlungskompatible Positioniersysteme: Lineartische, Hubtische, XY-Tische, Rotationstische
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* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.