Linearer Positioniertisch MT130

elektrisch1-AchsPräzision

EUV Miniatur Lineartisch 155 x 130 x 43 mm, UHV / DUV / EUV, ISO 5, Hub bis 50 mm, Repro 2.3 µm, Last 9 kg, Speed 40 mm/s • - Reinraum: Varianten bis Klasse ISO 5 (höher auf Anfrage) • - Vakuum: alle Bereiche HV / UHV • - Strahlung: EUV, DUV, UV • - Schmierung flüssig bis 10-8 / trocken bis 10-11 mbar • - Max. Ausheiztemperatur: 120°C Optionen: • - Stapelbar zum kompakten 3-Achs-Positioniersystem: MP130-3 • - Kombinierbar mit dem Drehtisch DT130 • - Verfahrwege bis 80 mm • - Hochauflösendes Messsystem • - EUV-Schmierung, flourfreie / PFAS-freie UHV-Schmierung • - Kundenspezifische Entwicklung mit 3D-Entwurf, Prototypen, Serienproduktion Kompakte EUV Linearachse mit innen liegendem Motor Der Miniatur-Lineartisch erreicht mit spielfreien Kreuzrollenführungen sehr gute Ablaufwerte. Der Antrieb ist vollständig im hochkompakten Positioniersystem untergebracht. Zudem verfügt das Positioniersystem über eine Permanent-Magnetbremse. Anwendungsfelder Positionierung in kleinen Bauräumen im EUV-Reinraum z.B. Kamera, Mikroskop / Sensor (AFM, WLI), Aufbau von platzsparenden XYZ Mehrachssystemen, Manipulator für Industrie und Forschung, Kompakte Reinraum-Positioniersysteme, Wafer Inspektion, Wafer Prober Justage