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Linearer Positioniertisch 2LA95-LA105elektrisch3-AchsPräzision
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Eigenschaften
- Ausrichtung
- linear
- Typ
- elektrisch
- Achszahl
- 3-Achs
- Weitere Eigenschaften
- Präzision, Industrie, für Wafer-Handling
- Hub
Min: 1 mm
(0,039 in)Max: 7 mm
(0,276 in)- Geschwindigkeit
Min: 1 mm/s
Max: 3,6 mm/s
- Wiederholbarkeit
Min: 0,4 µm
Max: 1 µm
- Ladung
Min: 1,9 kg
(4,19 lb)Max: 2,9 kg
(6,39 lb)
Beschreibung
2LA95-LA105
XYZ-System mit Piezobremse (UHV)
Dieses 3-Achs-System mit Verfahrwegen von 5 x 20 x 10 mm ist für Lasten bis 2 kg ausgelegt. Das System ist trockenlaufend, verfügt über eine Piezobremse sowie Gleitgewinde und Schrittmotor. Für die Überwachung der Position ist ein Messsystem integriert. Es eignet sich idealerweise für Anwendungen in der Optik unter Laborbedingungen im Vakuum bis 10E-9 mbar.
Standard System - LA95 LA95 LA105
____________________________________________________
Verfahrweg - [mm] 10 5 20
____________________________________________________
Positionier
geschwindigkeit - [mm/s] 25 10 25
____________________________________________________
Max.
Geschwindigkeit - - [mm/s] 50 20 50
____________________________________________________
Gewicht - - [kg] 7
Gewicht - [kg] - 7
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Reinraum-, Vakuum- und Strahlungskompatible Positioniersysteme: Lineartische, Hubtische, XY-Tische, Rotationstische
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* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.