Linearer Positioniertisch 2LA95-LA105
elektrisch3-AchsPräzision

linearer Positioniertisch
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Eigenschaften

Ausrichtung
linear
Typ
elektrisch
Achszahl
3-Achs
Weitere Eigenschaften
Präzision, Industrie, für Wafer-Handling
Hub

Max: 7 mm
(0,276 in)

Min: 1 mm
(0,039 in)

Geschwindigkeit

Max: 3,6 mm/s

Min: 1 mm/s

Wiederholbarkeit

Max: 1 µm

Min: 0,4 µm

Ladung

Max: 2,9 kg
(6,39 lb)

Min: 1,9 kg
(4,19 lb)

Beschreibung

2LA95-LA105 XYZ-System mit Piezobremse (UHV) Dieses 3-Achs-System mit Verfahrwegen von 5 x 20 x 10 mm ist für Lasten bis 2 kg ausgelegt. Das System ist trockenlaufend, verfügt über eine Piezobremse sowie Gleitgewinde und Schrittmotor. Für die Überwachung der Position ist ein Messsystem integriert. Es eignet sich idealerweise für Anwendungen in der Optik unter Laborbedingungen im Vakuum bis 10E-9 mbar. Standard System - LA95 LA95 LA105 ____________________________________________________ Verfahrweg - [mm] 10 5 20 ____________________________________________________ Positionier geschwindigkeit - [mm/s] 25 10 25 ____________________________________________________ Max. Geschwindigkeit - - [mm/s] 50 20 50 ____________________________________________________ Gewicht - - [kg] 7 Gewicht - [kg] - 7

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Reinraum-, Vakuum- und Strahlungskompatible Positioniersysteme: Lineartische, Hubtische, XY-Tische, Rotationstische

* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.