Elektrischer Manipulator 3LT300

mit VakuumPositionierung3-Achs

3-Axen-Manipulatoren aus drei LT300 Anwendung: HV-3-Achsen-Positioniersystem Nutzen: extrem stabil beim Erreichen der Position, trocken doppelt Merkmale: Stabilisierung mit Piezobremse • - Vakuum: alle Druckbereiche HV / UHV bis 10-11 • - Magnetismus: magnetisch • - Schmierung: flüssig bis zu 10E-8 / trocken bis zu 10E-11 mbar • - Max. Ausheiztemperatur: 120°C Optionen: • - Auf die Anwendung abgestimmte Materialauswahl und Vakuumschmierung • - Individuelle Anpassung an die Einbausituation in der Kammer • - Optional mit Steuerung FMC400/450 Technische Daten • - Verfahrweg: 10 mm - 100 mm • - Wiederholgenauigkeit: ± 4 µm (unidirektional) ± 5µm (bidirektional) • - Last: → 200 N / ↑ 20 N • - Max. Geschwindigkeit: 10 mm/s • - Motor: Piezo Motor • - Führung: Kreuzrollenlager Edelstahl, Hybrid • - Feedback: Linearmesssystem, Open Loop • - Auflösung Messsystem: 0.001 µm – 0.1 µm