Linearer Positioniertisch LA97-MT85

piezoelektrisch2-AchsPräzision

LA97-MT85 Anwendung: Mehrzweck-Manipulator Nutzen: für hochauflösendes Scannen Merkmale: Positionierung mit sehr hoher Auflösung • - Vakuum: alle Druckbereiche HV / UHV bis 10-11 • - Magnetismus: magnetisch • - Schmierung: flüssig bis zu 10E-8 / trocken bis zu 10E-11 mbar • - Max. Ausheiztemperatur: 80°C Optionen: • - Auf die Anwendung abgestimmte Materialauswahl und Vakuumschmierung • - Individuelle Anpassung an die Einbausituation in der Kammer • - Optional mit Steuerung FMC400/450 Technische Daten • - Verfahrweg: 20 mm - 200 mm • - Wiederholgenauigkeit: ± 0.02 µm (unidirektional) ± 0.03 µm (bidirektional) • - Last: → 200 N / ↑ 20 N • - Max. Geschwindigkeit: 10 mm/s • - Motor: Piezo Motor • - Führung: Kreuzrollenlager Edelstahl, Hybrid, optional Keramik • - Feedback: Linearmesssystem • - Auflösung Messsystem: 0.001 µm – 0.1 µm