Mikro-Positionierer / Piezo MP105

linearXYZunter Ultrahochvakuum

Schneller, präziser Mikropositionierer HV / UHV / EUV, 20 - 50 mm Verfahrweg, 0.2 µm Wiederholgenauigkeit, 1 kg Last • - Vakuum: alle Bereiche HV / UHV / EUV • - Schmierung flüssig bis 10-8 / trocken bis 10-11 mbar • - Max. Ausheiztemperatur: 120°C Optional konfigurierbar: • - Verfügbar als magnetische, magnetarme und magnetfreie Ausführung • - Verschienene Motorvarianten: Piezomotor oder Nanomotion • - Wahlweise mit hochauflösenden Messsystem für Wiederholgenauigkeiten bis zu 0.005 µm • - Kombinierbar mit Drehtischen für rotatorische Anwendungen • - Individuelle Anpassung an die Einbausituation in der Kammer • - Ausführung für Reinraum ISO 14644-1 (bis Klasse 1 auf Anfrage) • - Optional mit Controller FMC400/450 Miniaturisierter XYZ Manipulator für hochpräzise oder dynamische Anwendungen Der Manipulator ist ein hochdynamisches 3-Achssystem für die X-, Y- und Z-Bewegung auf sehr begrenzten Bauraum. Es werden Stellwege bis 50 mm realisiert. Der Manipulator ist mit Piezomotoren ausgerüstet und kann somit Stellinkremente von wenigen Nanometern für hochpräzise Anwendungen im Hochvakuum und Ultrahochvakuum realisieren. Wahlweise ausgestattet mit einem Nanomotion, eignet er sich insbesondere für hochdynamische und hochpräzise Positionierungen. Anwendungsbereiche Präzisionspositionierung auf kleinsten Bauraum für Laboranwendungen, Mikroskopie und Halbleitertechnik, Forschung im Ultrahochvakuum und unter extrem ultravioletter Strahlung, Probenvorbereitung, Probenscan, Probenhandling, Kamerajustage, Sensorjustage, Materialforschung, Materialanalyse, Beamline, Beschleuniger, Synchrotron, Miniaturisierung