Drehbarer Positioniertisch DT105
piezoelektrisch2-AchsClosed-Loop

Drehbarer Positioniertisch - DT105 - Steinmeyer Holding GmbH - piezoelektrisch / 2-Achs / Closed-Loop
Drehbarer Positioniertisch - DT105 - Steinmeyer Holding GmbH - piezoelektrisch / 2-Achs / Closed-Loop
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Eigenschaften

Ausrichtung
drehbar
Typ
piezoelektrisch
Achszahl
2-Achs
Weitere Eigenschaften
für Wafer-Handling, Closed-Loop, mikrometrisch
Geschwindigkeit

Min: 180 mm/s

Max: 270 mm/s

Wiederholbarkeit

Min: 0,001 µm

Max: 1 µm
(0,00004 in)

Ladung

3 kg
(6,61 lb)

Beschreibung

Hochauflösender Drehtisch HV / UHV, DUV, Reinraum ISO 6, n x 360°, Rep 0.0005°, 3 kg Last, Speed 270°/s • - Reinraum: Varianten bis Klasse ISO 6 (höher auf Anfrage) • - Vakuum: alle Bereiche HV / UHV bis 10-11 mbar • - Schmierung flüssig bis 10-8 mbar / Sonderkonfiguration trocken bis 10-11 mbar • - Max. Ausheiztemperatur: 100°C Optional konfigurierbar: • - Verfügbar als magnetische und magnetarme Ausführung, magnetfrei als Sonderkonfiguration • - Ausstattung mit drei Motoren für Lasten bis 3 kg • - Auf die Anwendung angepasste Materialwahl und Schmierung • - Optional mit Controller FMC400/450 • - Kundenspezifische Entwicklung mit 3D-Entwurf, Prototypen, Serienproduktion Hochauflösende Bildgebung unter begrenzten Bauraum Dieser kompakte und flache Drehtisch erreicht im Vakuum extrem hohe Auflösungen bei schnellen Prozessen. Durch das Durchlicht von 36 mm erlaubt eine exakt positionierung, vermessen und analyse kleiner Proben. Er lässt sich zu anspruchsvollen Mehrachssystemen kombinieren und kann einfach über unsere FMC 400/450 Controller angesteuert werden. Anwendungsfelder Hochpräzise und dynamische Mikroskopie z.B. AFM, Elektronenmikroskop, Ionen-Mikroskop, Rasterelektronenmikroskop, Rastertunnelmikroskop, Labormikroskopie, Bildgebende Systeme, Probenanalyse, Beamline-Instrumentierung, Synchrotron, Materialforschung, Materialanalyse

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* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.