HV / UHV, DUV, Reinraum ISO 6, Hub unbegrenzt, Repro bis 0.003°, Speed bis 540°/s, Last bis 1 kg
• Reinraum: Varianten bis Klasse ISO 6 (höher auf Anfrage)
• Vakuum: alle Bereiche HV / UHV bis 10-11 mbar
• Schmierung: flüssig bis 10-8 mbar / trocken bis 10-11 mbar
• Max. Ausheiztemperatur: 100°C
Optional konfigurierbar:
• Verfügbar als magnetische und magnetarme Ausführung (magnetfrei auf Anfrage)
• Auf die Anwendung angepasste Materialwahl und Schmierung
• Optional mit Controller FMC400/450
• Kundenspezifische Entwicklung mit 3D-Entwurf, Prototypen, Serienproduktion
Kleiner, hochdynamischer Drehtisch
Der kleinste Vakuum-Drehtisch im Produktportfolio überzeugt durch seine hohe Dynamik und Geschwindigkeit. In Vakuum- und magnetarmer Ausführung ist der DT65 perfekt geeignet für Anwendungen in anspruchsvollen Umgebungen. Er findet daher seinen Einsatz insbesondere in der Forschung und Entwicklung sowie in der Experimentalphysik. Er lässt sich zu anspruchsvollen Mehrachssystemen kombinieren und kann einfach über unsere FMC 400/450 Controller angesteuert werden.
Anwendungsfelder
Forschung und Entwicklung, Aufbau von Mehrachssystemen, Beamline-Instrumentierung, Synchrotron, Materialforschung, Materialanalyse, Waferinspektion, Halbleiter Qualitätskontrolle, Halbleiterforschung