Linearer Positioniertisch MT130

elektrisch1-AchsKreuzrollen

MT130 Kompakter Lineartisch mit innen liegendem Motor Der Miniatur-Lineartisch erreicht mit spielfreien Kreuzrollenführungen sehr gute Ablaufwerte. Der Antrieb ist vollständig im hochkompakten Positioniersystem untergebracht. • Hübe bis 80 mm in kleinen Bauräumen (130 x 130 x 43 mm) • Wiederholgenauigkeit bis 2.3 µm • Leicht stapelbar zu kompakten Mehrachssystemen Optionen: • Erhältlich mit DC-Motor oder Schrittmotor • Kompaktes 3-Achs-Positioniersystem: MP130-3 • Kombinierbar mit dem Drehtisch DT130 • Edelstahlausführung für erhöhte Steifigkeit • Ausführung für Reinraum, Vakuum und EUV Anwendungsfelder: Positionierung in kleinen Bauräumen z.B. Kamera, Mikroskop (AFM, WLI), Aufbau von platzsparenden XYZ Mehrachssystemen, Manipulator für Industrie und Forschung, Kompakte Reinraum-Positioniersysteme, Wafer Inspektion, Wafer Prober Justage Technische Daten: • Verfahrweg: 50 mm, 80 mm • Wiederholgenauigkeit unidirektional: ± 2.3 µm • Wiederholgenauigkeit bidirektional: ± 4.3 µm • Positioniergenauigkeit: ± 8.1 µm, ± 9.7 µm • Positioniergeschwindigkeit: 20 mm/s • Max. Beschleunigung: 0.4 m/s2 • Max. Last Fx: 45 N • Max. Last Fy: 95 N • Max. Last Fz: 95 N