XYZ-Positioniersystem 3-Achs-Strahljustage

linearpiezoelektrisch

3-Achs-Strahljustierung UHV XYZ-System Anwendung: Hochauflösende und schnelle Scananwendungen Nutzen: - Schnelle Positionierung im UHV, auch vertikal Merkmale: Hervorragende Auflösung, sehr schlank, mit internem Motor - Vakuum: alle Bereiche HV / UHV bis zu 10E-11 mbar - Magnetismus: magnetisch | niedermagnetisch | magnetfrei - Schmierung: flüssig bis zu 10E-8 / trocken bis zu 10E-11 mbar - Max. Ausheiztemperatur: 120°C Optionen: - Materialauswahl und Vakuumschmierung angepasst an die Anwendung - Kombinierbar mit einem XYZ-Transfersystem (z.B. LA90, LA95, LA170) - Individuelle Anpassung an die Einbausituation in der Kammer - Wahlweise mit Steuerung FMC400/450 - Optional mit Motion Controller FMC400/450 Technische Daten: - Verfahrweg: 5 mm, 10 mm - Wiederholgenauigkeit: - ± 0,2 µm (unidirektional) ± 0,3 µm (bidirektional) - Last: → 5 N / ↑ 8,8 N - Max. Geschwindigkeit: 10 mm/s - Motor: Piezo-Motor - Führung: Kreuzrollenlager Edelstahl, Hybrid, optional Vollkeramik - Feedback: Lineare Skala - Auflösung des Messsystems: 0,1 µm, optional bis zu 0,005 µm