Linearer Positioniertisch HT240

elektrisch1-AchsPräzision

HT240 Präziser vertikaler Hubtisch für hohe Lasten Anwendung: Vakuum-Hebetisch Vorteil: hohe Steifigkeit und Belastung Merkmale: Keil mit Kugelumlaufspindel • - Vakuum: alle Bereiche HV / UHV / EUV bis zu 10E-11 mbar • - Schmierung: flüssig bis zu 10E-8 / trocken bis zu 10E-11 mbar • - Magnetismus: magnetisch • - Max. Ausheiztemperatur: 120°C Option: • - Materialauswahl und Vakuumschmierung angepasst an die Anwendung • - Individuelle Anpassung an die Einbausituation in der Kammer • - Optional mit Steuerung FMC400/450 Technische Daten • - Verfahrweg: 25 mm • - Wiederholgenauigkeit: - • - ± 1,7 µm, ± 0,3 µm (unidirektional) • - ± 2,7 µm, ± 0,5 µm (bidirektional) • - Last: → 440N / ↑ 410 N • - Max. Geschwindigkeit: 3,4 mm/s • - Motor: Piezo-Motor • - Führung: Kreuzrollenlager aus rostfreiem Stahl, Hybrid • - Feedback: Lineare Skala • - Auflösung des Feedbacks: 1 µm