Linearer Positioniertisch HDT255

elektrisch1-AchsPräzision

HDT255 Hebetisch mit hoher Lastöffnung Anwendung: Vakuumhebetisch Vorteil: hohe Steifigkeit und Tragfähigkeit, Apertur Merkmale: Keiltisch mit Apertur - Vakuum: alle Bereiche HV / UHV / EUV bis zu 10E-11 mbar - Schmierung: flüssig bis zu 10E-8 / trocken bis zu 10E-11 mbar - Magnetismus: magnetisch - Max. Ausheiztemperatur: 120°C Optionen: - Mit oder ohne Blende - Verschiedene Verfahrwege. - Wahlweise mit und ohne Messsystem - Ausführungen für Reinraum ISO 14644-1 (bis Klasse 1 auf Anfrage) - Auf die Anwendung abgestimmte Materialauswahl und Vakuumschmierung - Individuelle Anpassung an die Einbausituation in der Kammer - Wahlweise mit Steuerung FMC400/450 Technische Daten: - Verfahrweg: 16 mm - Wiederholgenauigkeit: - ± 2,9 µm, ± 0,7 µm (unidirektional) ± 4 µm, ± 1 µm (bidirektional) - Last: 98 N - Max. Geschwindigkeit: 16,6 mm/s - Motor: Schrittmotor - Führung: Kreuzrollenlager aus Edelstahl, Hybrid - Feedback: Lineare Skala - Auflösung des Messsystems: 0,1 µm