Linearer Positioniertisch HT160

elektrisch1-AchsPräzision

HT160 Präziser vertikaler Hubtisch für hohe Lasten Anwendung: Vakuumhebetisch Vorteil: hohe Steifigkeit und Belastung Merkmale: Keil mit Kugelumlaufspindel • - Vakuum: alle Bereiche HV / UHV / EUV bis zu 10E-11 mbar • - Schmierung flüssig bis zu 10E-8 / trocken bis zu 10E-11 mbar • - Verfügbar als magnetische Version • - Max. Ausheiztemperatur: 120°C Optionen: • - Materialauswahl und Vakuumschmierung angepasst an die Anwendung • - Individuelle Anpassung an die Einbausituation in der Kammer • - Ausführung für Reinraum ISO 14644-1 (bis Klasse 1 auf Anfrage) • - Optional mit Steuerung FMC400/450 Technische Daten: • - Verfahrweg: 16 mm • - Wiederholgenauigkeit: - ± 1 µm, ± 1,7 µm (unidirektional) ± 1,7 µm, ± 2 µm (bidirektional) • - Last: → 50 N / ↑ 45 N • - Max. Geschwindigkeit: 2,2 mm/s • - Motor: Schrittmotor • - Führung: Kreuzrollenlager aus Edelstahl, Hybrid • - Feedback: Offene Schleife, lineare Skala • - Auflösung des Messsystems: keine oder linear