- Mechanik - Antriebstechnik
- Aktuator und Positioniersystem
- Linearer Positioniertisch
- Steinmeyer Holding GmbH
Linearer Positioniertisch KDT120piezoelektrisch2-AchsPräzision
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Eigenschaften
- Ausrichtung
- linear
- Typ
- piezoelektrisch
- Achszahl
- 2-Achs
- Weitere Eigenschaften
- Präzision, Aluminium, Industrie, vakuumkompatibel, für Wafer-Handling, Kreuzrollen
- Hub
Min: 1 mm
(0,039 in)Max: 24 mm
(0,945 in)- Geschwindigkeit
Min: 1 mm/s
Max: 5 mm/s
- Wiederholbarkeit
Min: 0,03 µm
Max: 5 µm
- Ladung
Min: 0,5 kg
(1,1 lb)Max: 4,5 kg
(9,92 lb)
Beschreibung
KDT120-20
Hochauflösender XY-Tisch
Anwendung: Vakuum-XY-Tisch
Vorteil: schnell und hochauflösend
Merkmale: Parameter für Gieren und Nicken dreimal besser als die Variante mit Blende
- Vakuum: alle Bereiche HV / UHV / EUV bis zu 10E-11 mbar
- Schmierung: flüssig bis zu 10E-8 / trocken bis zu 10E-11 mbar
- Magnetismus: magnetisch / schwach magnetisch / magnetfrei
- Max. Ausheiztemperatur: 120°C
Optionen:
- Mit und ohne Blende
- Erhältlich als magnetische, niedermagnetische und magnetfreie Version
- Verschiedene Motorvarianten: Nanomotion oder Piezomotor
- Kombinierbar mit XYZ-Positioniersystem (z.B. MT105)
- Kombinierbar mit Drehtischen (z.B. DT105) für rotierende Anwendungen
- Optional mit Steuerung FMC400/450
Technische Daten:
- Verfahrweg: 24 mm
- Wiederholgenauigkeit: -
± 0,03 µm (unidirektional) -
± 0,05 µm (bidirektional)
- Last: → 5 N / ↑ 45 N
- Max. Geschwindigkeit: - 5 mm/s
- Motor: Piezo-Motor
- Lager: Kreuzrollenlager aus Edelstahl, Hybrid, optional Vollkeramik
- Feedback: Lineare Skala
- Auflösung des Messsystems: 0,005 µm - 0,1µm
Kataloge
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Reinraum-, Vakuum- und Strahlungskompatible Positioniersysteme: Lineartische, Hubtische, XY-Tische, Rotationstische
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* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.