Linearer Positioniertisch KDT120

piezoelektrisch2-AchsPräzision

KDT120-20 Hochauflösender XY-Tisch Anwendung: Vakuum-XY-Tisch Vorteil: schnell und hochauflösend Merkmale: Parameter für Gieren und Nicken dreimal besser als die Variante mit Blende - Vakuum: alle Bereiche HV / UHV / EUV bis zu 10E-11 mbar - Schmierung: flüssig bis zu 10E-8 / trocken bis zu 10E-11 mbar - Magnetismus: magnetisch / schwach magnetisch / magnetfrei - Max. Ausheiztemperatur: 120°C Optionen: - Mit und ohne Blende - Erhältlich als magnetische, niedermagnetische und magnetfreie Version - Verschiedene Motorvarianten: Nanomotion oder Piezomotor - Kombinierbar mit XYZ-Positioniersystem (z.B. MT105) - Kombinierbar mit Drehtischen (z.B. DT105) für rotierende Anwendungen - Optional mit Steuerung FMC400/450 Technische Daten: - Verfahrweg: 24 mm - Wiederholgenauigkeit: - ± 0,03 µm (unidirektional) - ± 0,05 µm (bidirektional) - Last: → 5 N / ↑ 45 N - Max. Geschwindigkeit: - 5 mm/s - Motor: Piezo-Motor - Lager: Kreuzrollenlager aus Edelstahl, Hybrid, optional Vollkeramik - Feedback: Lineare Skala - Auflösung des Messsystems: 0,005 µm - 0,1µm