Linearer Positioniertisch KT105

piezoelektrisch2-AchsPräzision

KT105-50 Hochauflösender XY-Tisch Anwendung: Vakuum-XY-Tisch Vorteil: schnell und hochauflösend Merkmale: Parameter für Gieren und Nicken dreimal besser als die Variante mit Blende - Vakuum: alle Bereiche HV / UHV bis zu 10E-11 mbar - Magnetismus: magnetisch | niedermagnetisch | magnetfrei - Schmierung: flüssig bis zu 10E-8 / trocken bis zu 10E-11 mbar - Max. Ausheiztemperatur: 120°C Optionen: - Mit und ohne Blende - Erhältlich als magnetische, niedermagnetische und magnetfreie Version - Verschiedene Motorvarianten: Nanomotion oder Piezomotor - Kombinierbar mit XYZ-Positioniersystem (z.B. MT105) - Kombinierbar mit Drehtischen (z.B. DT105) für rotierende Anwendungen - Optional mit Steuerung FMC400/450 - Technische Daten Verfahrweg: 50 mm Wiederholgenauigkeit: - ± 0,3 µm, ± 0,5 µm (unidirektional) ± 0,4 µm, ± 0,7 µm (bidirektional) Last: → 5 N, 4N / ↑ 45 N Max. Geschwindigkeit: 10/50 mm/s Motor: Piezo-Motor / Nanomotion Führung: Kreuzrollenlager Edelstahl, Hybrid, optional Vollkeramik Feedback: Lineare Skala Auflösung des Messsystems: 0,001 µm - 0,1 µm