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- Linearer Positioniertisch
- Steinmeyer Holding GmbH
Linearer Positioniertisch MT105piezoelektrisch1-AchsPräzision
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Eigenschaften
- Ausrichtung
- linear
- Typ
- piezoelektrisch
- Achszahl
- 1-Achs
- Weitere Eigenschaften
- Präzision, Aluminium, Industrie, Miniatur, vakuumkompatibel, für Wafer-Handling, Kreuzrollen
- Hub
Min: 1 mm
(0,039 in)Max: 100 mm
(3,937 in)- Geschwindigkeit
Min: 1 mm/s
Max: 100 mm/s
- Wiederholbarkeit
Min: 0,2 µm
Max: 5 µm
- Ladung
Min: 0,4 kg
(0,88 lb)Max: 5,5 kg
(12,13 lb)
Beschreibung
MT105
Anwendung: Mehrzweck-Mikrotisch
Vorteil: für hochauflösendes Scannen
Merkmale: Positionierung mit sehr hoher Auflösung
- Vakuum: alle Druckbereiche HV /UHV bis zu 10E-11 mbar
- Schmierung: Flüssigkeit bis 10E-8mbar / Trockenschmierung bis 10E-11mbar
- Magnetismus: magnetisch / schwach magnetisch / magnetfrei
- Max. Ausheiztemperatur: 120°C
Optionen:
- Erhältlich als magnetische, niedermagnetische und magnetfreie Version
- Mit bis zu 2 verschiedenen Motoren für die Bewegung von hohen Lasten
- Kombinierbar mit dem XYZ-Positioniersystem
- Ausführung für Reinraum ISO 14644-1 (bis Klasse 1 auf Anfrage)
- Optional mit Steuerung FMC400/450
Technische Daten:
- Verfahrweg: 100 mm
- Wiederholgenauigkeit: -
± 0,4 µm (unidirektional)
± 0,5 µm (bidirektional)
- Last: → 4 N / ↑ 55 N
- Max. Geschwindigkeit: 100 mm/s
- Motor: Piezo-Motor
- Führung: Kreuzrollenlager
- Feedback: Lineare Skala
- Auflösung Messsystem: 0,005 µm - 1 µm
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Reinraum-, Vakuum- und Strahlungskompatible Positioniersysteme: Lineartische, Hubtische, XY-Tische, Rotationstische
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* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.