- Mechanik - Antriebstechnik
- Aktuator und Positioniersystem
- Linearer Positioniertisch
- Steinmeyer Holding GmbH
Linearer Positioniertisch MT53piezoelektrisch1-AchsPräzision
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Eigenschaften
- Ausrichtung
- linear
- Typ
- piezoelektrisch
- Achszahl
- 1-Achs
- Weitere Eigenschaften
- Präzision, Aluminium, Miniatur, Industrie, vakuumkompatibel, für Wafer-Handling, Kreuzrollen
- Hub
Max: 10 mm
(0,394 in)Min: 1 mm
(0,039 in)- Geschwindigkeit
Max: 10 mm/s
Min: 0,2 mm/s
- Wiederholbarkeit
Max: 5 µm
Min: 0,2 µm
- Ladung
Max: 0,9 kg
(1,98 lb)Min: 0,5 kg
(1,1 lb)
Beschreibung
MT53
Hochauflösender Mikrotisch
Anwendung: Mehrzweck-Mikrotisch
Vorteil: für hochauflösendes Scannen
Merkmale: Positionierung mit sehr hoher Auflösung
- Vakuum: alle Druckbereiche HV /UHV bis zu 10E-11 mbar
- Schmierung: Flüssigkeit bis 10E-8mbar / Trockenschmierung bis 10E-11mbar
- Magnetismus: magnetisch
- Max. Ausheiztemperatur: 120°C
Optionen:
- Materialauswahl und Vakuumschmierung angepasst an die Anwendung
- Individuelle Anpassung an die Einbausituation in der Kammer
- Optional mit Steuerung FMC400/450
Technische Daten:
- Verfahrweg: 10 mm
- Wiederholgenauigkeit: -
± 0,2 µm (unidirektional)
± 0,3 µm (bidirektional)
- Last: → 5 N / ↑ 8,8 N
- Max. Geschwindigkeit: 0,2 mm/s
- Motor: Piezo-Motor
- Führung: Kreuzrollenlager
- Feedback: Lineare Skala
- Auflösung Feedback: ± 0.1µm
Kataloge
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Reinraum-, Vakuum- und Strahlungskompatible Positioniersysteme: Lineartische, Hubtische, XY-Tische, Rotationstische
* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.