- Mechanik - Antriebstechnik
- Aktuator und Positioniersystem
- Linearer Positioniertisch
- Steinmeyer Holding GmbH
Linearer Positioniertisch LA95elektrisch1-AchsPräzision
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Eigenschaften
- Ausrichtung
- linear
- Typ
- elektrisch
- Achszahl
- 1-Achs
- Weitere Eigenschaften
- Präzision, Aluminium, vakuumkompatibel, für Wafer-Handling, Open-Loop, Kreuzrollen
- Hub
Min: 1 mm
(0,039 in)Max: 185 mm
(7,283 in)- Geschwindigkeit
Min: 1 mm/s
Max: 8,4 mm/s
- Wiederholbarkeit
Min: 0,4 µm
Max: 5 µm
- Ladung
Min: 0,1 kg
(0,22 lb)Max: 4,5 kg
(9,92 lb)
Beschreibung
LA95
Anwendung: Transportstufe, Abtaststufe
Vorteil: hohe Lebensdauer trotz Trockenschmierung
Merkmale: Spindel mit Trockenschmierung oder
Kugelgewindetrieb mit Flüssigschmierung
- Vakuum: alle Druckbereiche HV / UHV bis zu 10E-9 mbar
- Magnetismus: magnetisch
- Schmierung: Flüssigschmierung bis 10E-8 / Trockenschmierung bis 10E-11 mbar
- Max. Ausheiztemperatur: 120°C
Technische Daten
- Verfahrwege: 40mm, 80mm, 185mm
- Wiederholgenauigkeit:
± 1,9 µm, ± 0,4 µm (unidirektional)
± 2,9 µm, ± 0,5 µm (bidirektional)
- Last: → 45 N / ↑ 40 N
- Max. Geschwindigkeit: 8,4 mm/s
- Motor: Schrittmotor
- Führung: Kreuzrollenlager Edelstahl, Hybrid, optional Keramik
- Feedback: Linearmesssystem, Open Loop
- Auflösung der Messsystem: 0,001 µm - 0,1 µm
Kataloge
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Reinraum-, Vakuum- und Strahlungskompatible Positioniersysteme: Lineartische, Hubtische, XY-Tische, Rotationstische
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* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.