- Mechanik - Antriebstechnik
- Aktuator und Positioniersystem
- Linearer Positioniertisch
- Steinmeyer Holding GmbH
Linearer Positioniertisch LA97piezoelektrisch1-AchsPräzision
Zu meinen Favoriten hinzufügen
Zum Produktvergleich hinzufügen
Eigenschaften
- Ausrichtung
- linear
- Typ
- piezoelektrisch
- Achszahl
- 1-Achs
- Weitere Eigenschaften
- Präzision, Aluminium, Industrie, vakuumkompatibel, geführt / reibungslos, für Wafer-Handling, Kreuzrollen
- Hub
Min: 1 mm
(0,039 in)Max: 300 mm
(11,811 in)- Geschwindigkeit
Min: 1 mm/s
Max: 10 mm/s
- Wiederholbarkeit
Min: 0,015 µm
Max: 5 µm
- Ladung
Min: 1,9 kg
(4,19 lb)Max: 9,8 kg
(21,61 lb)
Beschreibung
LA97
Nanometer-Lineartisch
Anwendung: Scannen
Nutzen: Nanometer-Positionierung, auch vertikal
Features: Positionierung mit extremer Auflösung und höchster Steifigkeit kann mit 2 (oder 4) Motoren ausgestattet werden
- Vakuum: alle Druckbereiche HV / UHV bis zu 10E-11 mbar
- Magnetismus: magnetisch | niedermagnetisch | magnetfrei
- Schmierung: Flüssigkeit bis 10E-8 / Trockenschmierung bis 10E-11 mbar
- Max. Ausheiztemperatur: 120°C
Optionen:
- Magnetische, niedermagnetische und magnetfreie Versionen verfügbar
- Auf die Anwendung abgestimmte Materialauswahl und Vakuumschmierung
- Individuelle Anpassung an die Einbausituation in der Kammer
- Ausführung für Reinraum ISO 14644-1 (bis Klasse 1 auf Anfrage)
- Optional mit Steuerung FMC400/450
Technische Daten
- Verfahrweg: 100 mm - 300 mm
- Wiederholgenauigkeit:
± 0,015 µm (unidirektional)
± 0,02 µm (bidirektional)
- Last: → 98 N / ↑ 58 N
- Max. Geschwindigkeit: 10 mm/s
- Motor: Piezo-Motor
- Führung: Kreuzrollenlager aus Edelstahl, Hybrid, optional Vollkeramik
- Feedback: Lineare Skala
- Auflösung des Messsystems: ± 0,1 µm
Kataloge
Für dieses Produkt ist kein Katalog verfügbar.
Alle Kataloge von Steinmeyer Holding GmbH anzeigenWeitere Produkte von Steinmeyer Holding GmbH
Reinraum-, Vakuum- und Strahlungskompatible Positioniersysteme: Lineartische, Hubtische, XY-Tische, Rotationstische
* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.