Linearer Positioniertisch LA170

mit Linearmotor1-AchsKreuzrollen

LA170 Präzise XYZ-Linearachse mit hoher Belastung Anwendung: Transporttisch, Scanningtisch für hohe Lasten Vorteil: Hohe Lebensdauer trotz Trockenschmierung Merkmale: Spindel mit Trockenschmierung oder Kugelumlaufspindel mit Flüssigschmierung - Vakuum: alle Bereiche HV / UHV / EUV bis zu 10E-11 mbar - Magnetismus: magnetisch - Schmierung: flüssig bis zu 10E-8 / trocken bis zu 10E-11 mbar - Max. Ausheiztemperatur: 120°C Optionen: - Materialauswahl und Vakuumschmierung angepasst an die Anwendung - Individuelle Anpassung an die Einbausituation in der Kammer - Ausführung für Reinraum ISO 14644-1 (bis Klasse 1 auf Anfrage) - Optional mit Steuerung FMC400/450 Technische Daten - Verfahrweg: 60 mm - 130 mm - Wiederholgenauigkeit: ± 2,8 µm, ± 0,4 µm (unidirektional) ± 4 µm, ± 0,5 µm (bidirektional) - Last: → 196 N / ↑ 196 N - Max. Geschwindigkeit: 10 mm/s - Motor: Schrittmotor - Führung: Kreuzrollenlager Edelstahl, Hybrid - Feedback: Linearmesssystem - Auflösung der Rückführung: ± 0,1 µm