- Mechanik - Antriebstechnik
- Aktuator und Positioniersystem
- Linearer Positioniertisch
- Steinmeyer Holding GmbH
Linearer Positioniertisch LA80elektrisch1-AchsPräzision
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Eigenschaften
- Ausrichtung
- linear
- Typ
- elektrisch
- Achszahl
- 1-Achs
- Weitere Eigenschaften
- Präzision, Aluminium, Industrie, vakuumkompatibel, Hochgeschwindigkeit, Langhub, für Wafer-Handling
- Hub
Max: 500 mm
(19,685 in)Min: 1 mm
(0,039 in)- Geschwindigkeit
Max: 100 mm/s
Min: 1 mm/s
- Wiederholbarkeit
Max: 5 µm
Min: 0,3 µm
- Ladung
Max: 4,9 kg
(10,8 lb)Min: 0,9 kg
(1,98 lb)
Beschreibung
LA80
Hochgeschwindigkeits-UHV-Linearachse
Anwendung: schnelle Transportbühne
Vorteil: hohe Lebensdauer trotz Trockenschmierung
Merkmale: trockengeschmierter Kugelgewindetrieb
- Vakuum: alle Bereiche HV / UHV / EUV bis zu 10E-11 mbar
- Magnetismus: magnetisch
- Schmierung: flüssig bis zu 10E-8 / trocken bis zu 10E-11 mbar
- Max. Ausheiztemperatur: 120°C
Optionen:
- Wahlweise mit und ohne Messsystem
- Materialauswahl und Vakuumschmierung angepasst an die Anwendung
- Kombinierbar mit einem schnellen XYZ-Transfersystem (z.B. LA90, LA95, LA170)
- Individuelle Anpassung an die Einbausituation in der Kammer
- Ausführung für Reinraum ISO 14644-1 (bis Klasse 1 auf Anfrage)
- Optional mit Bewegungssteuerung FMC400/450
Technische Daten
- Verfahrweg: 200mm - 500mm
- Wiederholgenauigkeit:
± 3µm, ± 0,3µm (unidirektional)
± 4µm, ± 0,5µm (bidirektional)
- Last: → 49 N / ↑ 9 N
- Max. Geschwindigkeit: 100 mm/s
- Motor: Schrittmotor
- Führung: Edelstahl-Hybrid-Kugelumlaufführungen
- Rückmeldung: Offene Schleife, Linearmaßstab
- Auflösung der Rückmeldung: ± 0,5 µm
Kataloge
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Reinraum-, Vakuum- und Strahlungskompatible Positioniersysteme: Lineartische, Hubtische, XY-Tische, Rotationstische
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* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.