- Mechanik - Antriebstechnik
- Aktuator und Positioniersystem
- Linearer Positioniertisch
- Steinmeyer Holding GmbH
Linearer Positioniertisch LA80elektrisch1-AchsPräzision
Zu meinen Favoriten hinzufügen
Zum Produktvergleich hinzufügen
Eigenschaften
- Ausrichtung
- linear
- Typ
- elektrisch
- Achszahl
- 1-Achs
- Weitere Eigenschaften
- Präzision, Aluminium, Industrie, vakuumkompatibel, Hochgeschwindigkeit, Langhub, für Wafer-Handling
- Hub
Min: 1 mm
(0,039 in)Max: 500 mm
(19,685 in)- Geschwindigkeit
Min: 1 mm/s
Max: 100 mm/s
- Wiederholbarkeit
Min: 0,3 µm
Max: 5 µm
- Ladung
Min: 0,9 kg
(1,98 lb)Max: 4,9 kg
(10,8 lb)
Beschreibung
LA80
Hochgeschwindigkeits-UHV-Linearachse
Anwendung: schnelle Transportbühne
Vorteil: hohe Lebensdauer trotz Trockenschmierung
Merkmale: trockengeschmierter Kugelgewindetrieb
- Vakuum: alle Bereiche HV / UHV / EUV bis zu 10E-11 mbar
- Magnetismus: magnetisch
- Schmierung: flüssig bis zu 10E-8 / trocken bis zu 10E-11 mbar
- Max. Ausheiztemperatur: 120°C
Optionen:
- Wahlweise mit und ohne Messsystem
- Materialauswahl und Vakuumschmierung angepasst an die Anwendung
- Kombinierbar mit einem schnellen XYZ-Transfersystem (z.B. LA90, LA95, LA170)
- Individuelle Anpassung an die Einbausituation in der Kammer
- Ausführung für Reinraum ISO 14644-1 (bis Klasse 1 auf Anfrage)
- Optional mit Bewegungssteuerung FMC400/450
Technische Daten
- Verfahrweg: 200mm - 500mm
- Wiederholgenauigkeit:
± 3µm, ± 0,3µm (unidirektional)
± 4µm, ± 0,5µm (bidirektional)
- Last: → 49 N / ↑ 9 N
- Max. Geschwindigkeit: 100 mm/s
- Motor: Schrittmotor
- Führung: Edelstahl-Hybrid-Kugelumlaufführungen
- Rückmeldung: Offene Schleife, Linearmaßstab
- Auflösung der Rückmeldung: ± 0,5 µm
Kataloge
Für dieses Produkt ist kein Katalog verfügbar.
Alle Kataloge von Steinmeyer Holding GmbH anzeigenWeitere Produkte von Steinmeyer Holding GmbH
Reinraum-, Vakuum- und Strahlungskompatible Positioniersysteme: Lineartische, Hubtische, XY-Tische, Rotationstische
Verwandte Suchbegriffe
- Steinmeyer Positioniertisch
- Steinmeyer linearer Positioniertisch
- Steinmeyer motorisierter Positioniertisch
- Steinmeyer Präzisions-Positioniertisch
- Manueller Tisch
- Steinmeyer 1-Achs-Positioniertisch
- Steinmeyer 2-Achs-Positioniertisch
- Steinmeyer kompakter Positioniertisch
- Mehrachsentisch
- XY-Tisch
- Steinmeyer drehbarer Positioniertisch
- Steinmeyer Aluminium-Positioniertisch
- Hochpräzisionstisch
- Steinmeyer piezoelektrischer Positioniertisch
- Steinmeyer Industrie-Positioniertisch
- Mikrometertisch
- 3-Achs-Tisch
- XYZ-Tisch
- Kugelgewindespindel-Tisch
- Steinmeyer lineares Positioniersystem
* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.