- Mechanik - Antriebstechnik
- Aktuator und Positioniersystem
- Linearer Positioniertisch
- Steinmeyer Holding GmbH
Linearer Positioniertisch LA92mit Linearmotor1-AchsPräzision
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Eigenschaften
- Ausrichtung
- linear
- Typ
- mit Linearmotor
- Achszahl
- 1-Achs
- Weitere Eigenschaften
- Präzision, Aluminium, für Mikroskope, Industrie, vakuumkompatibel, automatisch, für Wafer-Handling, Kreuzrollen
- Hub
Max: 40 mm
(1,575 in)Min: 1 mm
(0,039 in)- Geschwindigkeit
Max: 200 mm/s
Min: 1 mm/s
- Wiederholbarkeit
Max: 5 µm
Min: 0,3 µm
- Ladung
Max: 1,9 kg
(4,19 lb)Min: 0,9 kg
(1,98 lb)
Beschreibung
LA92
Hochgeschwindigkeits-UHV-Linearachse
Anwendung: Hochauflösende und schnelle Scananwendungen
Nutzen: Schnelle Positionierung im UHV, auch vertikal
Merkmale: Hervorragende Auflösung, sehr schlank, mit internem Motor
- Vakuum: alle Bereiche HV / UHV bis zu 10E-11 mbar
- Magnetismus: magnetisch | niedermagnetisch | magnetfrei
- Schmierung: flüssig bis zu 10E-8 / trocken bis zu 10E-11 mbar
- Max. Ausheiztemperatur: 120°C
Optionen:
- Materialauswahl und Vakuumschmierung angepasst an die Anwendung
- Kombinierbar mit einem XYZ-Transfersystem (z.B. LA90, LA95, LA170)
- Individuelle Anpassung an die Einbausituation in der Kammer
- Optional mit Motion Controller FMC400/450
Technische Daten
- Verfahrweg: 40 mm
- Wiederholgenauigkeit:
± 0,3 µm (unidirektional)
± 0,4 µm (bidirektional)
- Last: → 19 N / ↑ 9 N
- Max. Geschwindigkeit: 200 mm/s
- Motor: Nanomotion
- Führung: Kreuzrollenlager aus Edelstahl, Hybrid, optional Vollkeramik
- Feedback: Linearmesssystem
- Auflösung des Messsystems: 0,005 µm - 0,1 µm
Kataloge
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Reinraum-, Vakuum- und Strahlungskompatible Positioniersysteme: Lineartische, Hubtische, XY-Tische, Rotationstische
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* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.