6-Achs-Positioniersystem 786015:009.26

MehrachsenHexapodhorizontal

6-Achs Miniatur-XYZ-Theta-Phi-Delta Positioniersystem (Reinraum ISO 5) Kundenspezifisch anpassbar: • Ideal zur automatisierten Inspektion von Wafern und Optiken bis 300 mm / 12" • Hohe Wiederholgenauigkeit von ± 2,5 µm bzw. ± 0,005° • Herausragende Präzision, Steifigkeit und Kompaktheit bei 520 x 600 x 155 mm • Ausgelegt für den Einsatz im 3-Schicht-Betrieb bis Reinraum Klasse ISO 5 Der 6-Achs-Manipulator besteht aus einem Kreuztisch in der Horizontalen sowie einem Tripod für Vertikalhub und zwei Kippungen und kombiniert damit die Stärken kartesischer und parallelkinematischer Konstruktionen in einem System. Spezifikationen: - Standardsystem: MT95 (XY) / 3x MT95 (Z, Rx, Ry) - Verfahrweg: 30 mm (XY) / 20 mm (Z) / 4 mm (Rx, Ry) / n x 360 (Rz) - Wiederholgenauigkeit: ± 1.5 - ± 3.5 µm (XYZ) / 0.0004 – 0.001 µm (Rx, Ry) / 0.05 - 0.1 µm (Rz) - Geschwindigkeit: 1.1 - 2 mm/s (XYZ) / 0.03 –0.5 mm/s (Rx, Ry) / 100 – 200 mm/s (Rz) - Max. Last: 65 N (X, Y, Rx, Ry) / 100 N (Z) / 20 N (Rz) - Motor: DC-Motor, Kugelgewindetrieb 1112, Getriebe, Riemen (X,Y, Rx, Ry) / Schrittmotor, Riemen (Rz) - Feedback: Motor-Encoder - Länge x Breite x Höhe: 520 x 600 x 155 mm Kundenspezifische Optionen: - Sonderausführung für Proben bis 450 mm / 18" - Verschiedene Ausführungen für Reinraum ISO 14644-1 (bis Klasse 1 auf Anfrage) - Modulares Mehrachssystem mit kundenspezifischen / auswechselbaren Prozessköpfen - Verschiedene Probenhalter, Einbindung in Workflows - Anwendungsspezifisch getestet und sofort einsatzbereit mit Plug-and-Play-fähigem Motion Controller inkl. Beispielsoftware - Individuelle Lösungsfindung mit 3D-Entwurf für die Positionieraufgabe