XYZ-Positioniersystem 782327:001.26

dreiachsiglinearfür Wafer-Inspektion und Metrologie

MP210-3 XYZ-Positionierer Kundenspezifisch anpassbar: • Ideal für enge Bauräume und schwankende Temperaturen von 0 - 40°C • Stellwege bis 25 mm auf kleinstem Raum • Absolute Positionsstabilität, auch bei Motor-Abschaltung • Gleichbleibende Messergebnisse durch eine hohe Wiederholgenauigkeit Dieses XYZ System erlaubt die Positionierung eines Probenhalters für hochstabile beidseitige Auflicht- und Durchlichtmessungen. Das Beladen und Fokussieren wird durch die Vertikalbewegung mit einem Hub von 25 mm realisiert Spezifikationen: - Standardsystem: MT63 - Verfahrweg: 25 mm - Wiederholgenauigkeit: ± 0.8 - ± 3.8 µm (XYZ) - Geschwindigkeit: 1.8 – 3.6 mm/s (XYZ) - Max. Last: 10 N - Motor: DC-Motor, Gleitgewindetrieb - Feedback: Linearmesssystem - Länge x Breite x Höhe: 206 x 259 x 137 mm Kundenspezifische Optionen: - Anpassung an den Prozess: Prüfling, Probenhalterung, Zuführung, Sensor. - Auslegung für Reinraum ISO 14644-1 (bis Klasse 1 auf Anfrage) - Individueller Aufbau mit Gestell, Schwingungsisolierung, Umhausung - Individuelle Lösungsfindung mit 3D-Entwurf für die Positionieraufgabe