Mehrachsen-Positioniersystem 782300:056.26

2-3 Achsenautomatischfür die Halbleiterindustrie

MP53-2-1 Miniatur-XY-Phi-Positioniersystem Phi-XY-System mit Piezomotor Dieser Manipulator besteht aus zwei Lineartischen MT53, welche zum XY-System verbunden sind und die Positionierung in der Horizontalen vornehmen. Ein weiterer MT53 wirkt auf eine Drehlagerung. Festkörpergelenk zum Ausrichten von Teilen Das Drei-Achs-System ist zum Ausrichten von Teilen und Proben gedacht. Da für solche Korrekturbewegungen nur geringe Wege von wenigen Millimetern beziehungsweise Grad ausreichen, lässt sich mit einem Lineartisch eine Drehbewegung erzeugen, wenn dieser mittels eines Festkörpergelenkes seine Bewegung an einen ansonsten passiven Drehtisch überträgt. Ein solches Festkörpergelenk hat den Vorteil, dass es die Präzision des Lineartisches vollständig auf den Drehtisch überträgt. Wenn die Auslenkung unter 5 Grad bleibt, bleibt auch die Steifigkeit dieses Gelenkes in ausreichendem Maße erhalten, um Bewegungen im Nanometer-Bereich in Zug- und auch Druckrichung zu übertragen. Spezifikationen: - Standard System: MT53-PM (XYRz) - Verfahrweg: 10 mm - Wiederholgenauigkeit: ± 0.4 – ± 0.7 µm (XY) / ± 0.001 - ± 0.002 µm (Rz) - Geschwindigkeit: 5 – 10 mm/s (XY) / 5 – 20 mm/s (Rz) - Max. Last: 5 N - Motor: Piezo Motor, Kreuzrolle - Feedback: Linearmesssystem - Länge x Breite x Höhe: 121 x 85 x 76 mm