Mehrachsen-Positioniersystem 782497:008.26

HexapodDrehfür Wafer-Inspektion und Metrologie

MP200-3 Miniatur-Z-Phi-Delta-Positioniersystem, Tripod Als Ergänzung zum Aligner MP200-5, welcher ein Verstellen in fünf Freiheitsgraden ermöglicht, wurde dieser Aligner mit drei Freiheitsgraden konstruiert. Er besteht intern aus drei vertikal wirkenden Präzisionsachsen, die mittels Festkörpergelenken mit der beweglichen Lastplatte verbunden sind. Somit lässt sich die Lastplatte in zwei Achsen kippen und auch in der Höhe verstellen. Da oft eine Ausrichtung der Werkstücke ausreichend ist, kann die vertikale Verstellung, insbesondere in der Optikmontage, zum Ausgleich verschieden hoher Linsepakete genutzt werden. Zudem lässt sich aus diesem Manipulator und einem Kreuz-Durchlicht-Tisch oder Kreuztisch ein 5-Achs-Manipulator mit großem Verfahrweg in XY realisieren. Als XY-Systeme kommen dafür beispielsweise der < KDT310, < KT310 oder der < KDT235 in Frage. Spezifikationen: - Standard System: MT63-SM (Z, Rx, Ry) - Verfahrweg: 4 mm (Z) / 3 mm (Rx, Ry) - Wiederholgenauigkeit: ± 0.07 – ± 1 µm (Z) / ± 0.00005 - ± 0.00020 µm (Rx, Ry) - Geschwindigkeit: 0.5 mm/s (Z) / 0.4 mm/s (Rx, Ry) - Max. Last: 20 N - Motor: Schrittmotor (SM), Gleitgewinde Riemen - Feedback: Motor-Encoder - Durchlicht: 45 mm