3-Achs-Positioniersystem 782327:032.24

automatischfür Baumaschinenfür Wafer-Handling

Hochdynamisches 3-Achs-Justiersystem: Kundenspezifisch anpassbar: • µm-Präzision durch die hohe Steifigkeit • Belastbarkeit bis 45 N • Hohe Dynamik bei Geschwindigkeiten bis 30 mm/s • gute Ablaufwerte • minimaler Reibungswiderstand durch Kreuzrollenführung Das kompakte 3-Achs-Justagesystem mit Spindelantrieb und DC- oder Schrittmotor lässt sich unkompliziert über unsere Controller der FMC-Serie ansteuern. Mit der passenden Inbetriebnahme-Software FMC Quick steht Ihnen das System innerhalb weniger Minuten für erste Tests zur Verfügung. Spezifikationen: - Standard System: MP130-DC - Verfahrweg: 50 mm - Wiederholgenauigkeit: ± 2.5 - ± 4.5 µm (XYZ) - Geschwindigkeit: 30 – 60 mm/s (XY) / 1 – 2 mm/s (Z) - Max. Last: 45 N - Motor: DC-Motor, Kreuzrolle - Feedback: Motor-Encoder - - Standard System: MP130-SM - Verfahrweg: 50 mm - Wiederholgenauigkeit: ± 2.3 - ± 4.3 µm (XYZ) - Geschwindigkeit: 20 - 40 mm/s (XYZ) - Max. Last: 45 N - Motor: Schrittmotor, Kreuzrolle