MP95-3 Miniature XYZ Positioning System, cartesian
Kundenspezifisch anpassbar:
• Ideal zum Ausrichten von Komponenten und weiteren Achsen
• XYZ-Stellwege bis 40 mm auf kleinstem Bauraum (145 x 95 x 130 mm)
• Sehr hochauflösende, schrittweise Korrekturen in den drei lateralen Richtungen
• Wiederholgenauigkeit bis 1.5 µm
Das XYZ-Positioniersystem ist ein kartesisch angeordnetes Positioniersystem aus drei Miniatur-Lineartischen (3 x MT95). Es erreicht mit seinen Kreuzrollenführungen sehr gute Ablaufwerte.
Spezifikationen:
- Verfahrweg: 40 mm
- Wiederholgenauigkeit: ± 1.5 - ± 3.5 µm (XYZ)
- Geschwindigkeit: 1.1 – 2.2 mm/s (XYZ)
- Max. Last: 30 N (XY) / 65 N (Z)
- Motor: DC-Motor, Kugelgewindetrieb
- Feedback: Motor-Encoder
Kundenspezifische Optionen:
- Anpassung an den Prozess: Prüfling, Probenhalterung, Zuführung, Sensor
- Auslegung für Reinraum ISO 14644-1 (bis Klasse 1 auf Anfrage)
- Ausführung für 3D-Entwurf für die Positionieraufgabe