XYZ-Positioniersystem 782327:003.24

automatischfür Wafer-Inspektion und Metrologiefür Mikroskopie

MP63-3 Miniatur-XYZ-Positioniersystem, kartesisch Kundenspezifisch anpassbar: • sehr hohe Auflösungswerte • ideal für enge Bauräume • Belastbarkeit bis 10N • feineres Einjustieren bei Applikationen durch einen Feingewindespindel • lange Lebensdauer und besonders präzise Bewegung durch Profilschienenführung Dieses miniaturisierte XYZ-System ist ideal für Positionieranwendungen mit geringem Platzbedarf. Kombiniert mit einer Feingewindespindel erreicht die XYZ Stage sehr hohe Auflösungswerte. Gleichzeitig überzeugt dieses hochpräzise Positioniersystem mit einem sehr guten Preis-Leistungs-Verhältnis. Spezifikationen: - Standard System: MT63-DC - Verfahrweg: 25 mm - Wiederholgenauigkeit: ± 0.8 - ± 3.8 µm (XYZ) - Geschwindigkeit: 1.8 – 3.6 mm/s (XY) / 0.9 – 1.8 mm/s (Z) - Max. Last: 10 N - Motor: DC-Motor, Profilschiene - Feedback: Motor-Encoder - - Standard System: MT63-SM - Verfahrweg: 25 mm - Wiederholgenauigkeit: ± 1 - ± 4 µm (XYZ) - Geschwindigkeit: 1.3 – 2.6 mm/s (XYZ) - Max. Last: 10 N - Motor: Schrittmotor, Profilschiene