XYZ-Positioniersystem 782325:110.24

automatischfür Industrieanwendungenfür Laboranwendung

MP53-3 Miniatur-XYZ-Positioniersystem Kundenspezifisch anpassbar: • Ideal für enge Bauräume • Auflösungen im Submikrometerbereich • Stellwege bis zu 10 mm auf kleinstem Raum realisierbar • Belastbarkeit bis 5 N Das Positioniersystem MP53 ist ein miniaturisiertes 3-Achssystem für die X-, Y- und Z-Bewegung. Es werden Stellwege von 10 mm realisiert. Der Manipulator ist mit Piezomotoren ausgerüstet und kann somit Stellinkremente von wenigen Nanometern realisieren. Spezifikationen: - Standard System: MT53 - Verfahrweg: 10 mm - Wiederholgenauigkeit: ± 0.2 - ± 0.3 µm (XYZ) - Geschwindigkeit: 5 mm/s (XYZ) - Max. Last: 5 N - Motor: Piezo Motor, Kreuzrolle - Feedback: Linearmesssystem Kundenspezifische Optionen: - Wahlweise mit hochauflösenden Messsystem für Wiederholgenauigkeiten bis zu 0.005 µm - Kombinierbar mit Drehtischen für rotatorische Anwendungen - Ausführungen für Vakuum bis 10-11 mbar oder Reinraum ISO 14644-1 Klasse 6 (bis Klasse 1 auf Anfrage) - Verfügbar als magnetische, magnetarme und magnetfreie Ausführung