3-Achs-Positioniersystem 782476:001.26

horizontalDrehautomatisch

Kundenspezifisch anpassbar: • Ideal für Transfermessungen unter Vakuum bis 10-6 mbar • Ausgelegt für große Proben mit einer Apertur von 235 mm • Hohe Wiederholgenauigkeiten bis 1.6 µm bei einer Nutzlast von 25 kg • Ideale Kraftübertragung durch einen spielfreien Kugelgewindetrieb • Optimiertes Preis-Leistungs-¬Verhältnis bei gleichzeitig präzisen Ablaufwerten Mit diesem Aligner werden zwei translative Bewegungen von 15 mm in der Ebene und eine Rotation um die Vertikale von bis zu ± 5 Grad realisiert. Die Bewegung R (Phi) resultiert aus der XY-Bewegungskombination. Spezifikationen: - Standard System: LA85 (XYRz) - Verfahrweg: ± 15 mm (XY) / ± 5 mm (Z) - Wiederholgenauigkeit: ± 1.6 – ± 2.1 µm (XY) / ± 0.001 – ± 0.002 µm (Rz) - Geschwindigkeit: 30 – 60 mm/s (XY) / 15 – 30 mm/s (Rz) - Max. Last: 250 N (XYRz) - Motor: Schrittmotor, Kugelgewindetrieb - Feedback: Open Loop Kundenspezifische Optionen: - Anpassung an den Prozess: Apertur, Probenhalterung, Zuführung, Sensor - Auslegung für Reinraum ISO 14644-1 (bis Klasse 1 auf Anfrage) - Individueller Aufbau mit Gestell, Schwingungsisolierung, Umhausung - Individuelle Lösungsfindung mit 3D-Entwurf für die Positionieraufgabe