XZ-Positioniersystem 782300:186.26

2-Achsenlinearfür Wafer-Inspektion und Metrologie

XZ System für Labor- und Waferinspektion Kundenspezifisch anpassbar: • Ideal für den Auf- und Ausbau Ihrer hochpräzisen Messstechnik • Sehr hohe Wiederholgenauigkeit bis 0.4 µm • Kleinste Schrittweiten und höchste Zuverlässigkeit bei vergleichsweise hoher Positioniergeschwindigkeit von 30 mm/s • Perfekte Ebenheit von 1 µm bei der Positionierung mittlerer Lasten bis 5 kg Diese XZ-Kombination besteht aus den hochpräzisen und langlebigen Standard-Linearachsen des PMT160. Diese Kombination eignet sich für alle Anwendungen, die perfekte Ebenheit, kleinste Toleranzen für Nicken und Gieren sowie ein gleichmäßiges Ablaufverhalten benötigen. Spezifikationen: - Standard System: PMT160-DC (XZ) - Verfahrweg: 300 mm (X) / 100 mm (Z) - Wiederholgenauigkeit: ± 0.4 - ± 2.2 µm (XZ) - Geschwindigkeit: 25 mm/s (X) / 1.12 mm/s (Z) - Max. Last: 45 N (X) / 150 N (Z) - Motor: DC-Motor, Kugelgewindetrieb - Feedback: Linearmesssystem Kundenspezifische Optionen: - Unterschiedliche Verfahrwege je Achse von 50 - 300 mm - Rotatorische Bewegungen in Kombination mit DT130 oder DT200 - Verschiedene Motorvarianten: DC-Motor, Schrittmotor, Linearmotor und Nanomotion - Ausführungen für Reinraum ISO 14644-1 - Gebrauchsfertige Steuerung mit vorkonfiguriertem Controller inkl. Beispielsoftware