XYZ-Positioniersystem 782300:193.26

linearfür Wafer-Inspektion und Metrologiefür Qualitätskontrolle

XYZ System zur Inspektion und Qualitätskontrolle Kundenspezifisch anpassbar: • Sehr hohe Ablaufgenauigkeit und Wiederholgenauigkeit bis 0.3 µm • Positionierung von Lasten bis 150 N mit einem günstigen Antrieb • Hohe Geschwindigkeiten bis 50 mm/s • Reduktion zufälliger Fehler auf ein Minimum • Einfache Integration und flexible Kombination mit vorhandenen Kamera-Systemen und Sensoren Das Positioniersystem ermöglicht die Positionierung entlang drei linearer Achsen. Bei dieser Einheit ist ein Lineartisch PMT160 mit einem Adapterwinkel auf einem Kreuztisch KT470 befestigt. Er erreicht geringe Ablauffehler, hinsichtlich Geradheit und Ebenheit, welche durch den Einsatz von Kreuzrollen erreicht werden. Spezifikationen: - Verfahrweg: 300 mm (XY) / 100 mm (Z) - Wiederholgenauigkeit: ± 0.3 - ± 1.7 µm (XYZ) - Geschwindigkeit: 25 mm/s (XY) - Max. Last: 45 N (X) / 150 N (YZ) - Motor: DC-Motor - Feedback: Linearmesssystem Kundenspezifische Optionen: - Unterschiedliche Verfahrwege in der Z-Achse von 50 - 300 mm - Verschiedene Motorvarianten: DC-Motor oder Schrittmotor - Ausführungen für Reinraum ISO 14644-1 - Gebrauchsfertige Steuerung mit vorkonfiguriertem Controller inkl. Beispielsoftware