1-Achs-Positioniersystem 782300:212.26

Drehfür Wafer-Inspektion und Metrologiefür die Halbleiterindustrie

X-Phi-System für die Positionierung optischer Linsen, Zylinder z.B. Tastschnittmessgerät Kundenspezifisch anpassbar: • Ideal zur optischen Vermessung von runden Teilen z.B. Wafer, Optiken • Spart die zusätzliche Anschaffung einer Zuführachse ein durch hochgenaue Drehbewegungen mit Hub • Hohe Wiederholgenauigkeit bis 0.0017° • Fährt 1.9 µm präzise mit X in die Messposition Dieses X-Phi-Positionierssystem besteht aus hochpräzisen und langlebigen Standardachsen des Lineartisches PMT160 und für die Drehung den DTS130-HM. Er eignet sich ideal für Messanwendungen, bei denen die Probe präzise in Messposition gefahren wird und damit keine zusätzliche Zuführachse nötig ist. Spezifikationen: - Verwendetes Standardsystem: PMT160-DC (X) / DTS130 (Phi (Rz)) - Verfahrweg: 135 mm (X) / n x 360 mm (Phi (Rz)) - Wiederholgenauigkeit: ± 1.9 - ± 2.4 µm (X) / ± 0.0017 - ± 0.005 µm (Phi (Rz)) - Geschwindigkeit: 10 mm/s (X) / 50 mm/s (Phi (Rz)) - Max. Last: 150 N (X) / 74 N (Phi (Rz)) - Motor: DC-Motor, Kugelgewindetrieb (X) / AC-Servo (Phi (Rz)) - Feedback: Linearmesssystem (X) / Winkelmesssystem (Phi (Rz)) Kundenspezifische Optionen: - Verfahrwege bis 300 mm - Grundplatte aus Granit oder Aluminium - Wahlweise mit innen liegendem Maßstab (270 mm) - Kombinierbar mit weiteren Drehtischen z.B. DT200 - Ausführungen für Reinraum ISO 14644-1 möglich - Gebrauchsfertige Steuerung mit vorkonfiguriertem Controller inkl. Beispielsoftware