3-Achs-Positioniersystem 782489:001.26

linearfür MikroskopieKugelgewindespindel

XYZ Mikroskopie- und Prüfstation Kundenspezifisch anpassbar: • Ideal zur Probeninspektion • Hochpräzise Wiederholgenauigkeit bis 0.3 µm • Reduktion von Messabweichungen auf unter 3 µm Dieses 3-Achs-Positioniersystem wurde für hochpräzise Messanwendungen entwickelt, bei denen der Kreuztisch das zu vermessendes Objekt zum Sensor bzw. Kamera an der Z-Achse bewegt. Der Kreuztisch besteht aus den zuverlässigen Kreuztisch KT310 mit einer DC-Motor-Ausführung. Spezifikationen: - Verfahrweg: 200 mm (XY) / 200 mm (Z) - Wiederholgenauigkeit: ± 0.3 - ± 0.7 µm (XY) - Geschwindigkeit: 30 mm/s (XY) - Max. Last Fx/ Fy: 45 N (XY) - Max. Last Fz: 110 N (XY) / 150 N (Z) - Motor: DC-Motor, Kugelgewindetrieb (XY) / Manuell (Z) - Feedback: Linearmesssystem (XY) Kundenspezifische Optionen: - Verschiedene Verfahrwege bis 200 mm - Mit/ohne Granitgestell - Mit/ohne Vibrationsentkopplung - Schrittmotor, DC-Motor und verschiedene Messsystemauflösungen - Motorisierte Z-Achse z.B. mit dem MT130 oder PMT 160 - Rotatorische Bewegungen in Kombination mit DT200 - Ausführungen für Reinraum ISO 14644-1 (bis Klasse 1 auf Anfrage) - Gebrauchsfertige Steuerung mit vorkonfiguriertem Controller inkl. Beispielsoftware