XYZ-Positioniersystem 782300:179.26

Portalfür die Halbleiterindustriefür Reinraum

XXL XYZ-Portal mit Vakuum Chuck Kundenspezifisch anpassbar: • Ideal zur automatisierten Oberflächeninspektion mit Fokusvariation • Ausgelegt für Probengewichte bis 50 kg (exklusive Vakuumtisch) • Passive Schwingungsdämpfung und Entkopplung von Gebäudeschwingungen (Standardmessraum Güteklasse 3 laut VDI 2627) • Enorm hohe Lebensdauer mit 1.000.000 Vollzyklen und einem Wartungsintervall von 500.000 Vollzyklen bzw. aller 2 Jahre Dieses Positioniersystem bewegt einen Vakuumchuck auf einer Fläche von 1000 x 1000 mm. An der Traversenachse ist das Standardsystem PMT160-SM für den kundenspezifischen Sensor angebracht, welcher für die Fokusvariation verwendet wird. Die Achsen sind vollständig gekapselt, was Verschmutzungen und den Eingriff verhindert. Spezifikationen: - Verwendetes Standardsystem: PLT320-SM (XY) / PMT160-SM (Z) - Verfahrweg: 1000 mm (XY) / 100 mm (Z) - Wiederholgenauigkeit: ± 3.9 - ± 4.4 µm (XY) / ± 1.9 - ± 2.4 µm (Z) - Geschwindigkeit: 30 mm/s (XY) / 10 mm/s (Z) - Max. Last: 490 N (XY) / 40 N (F) / ± 45 N (Z) - Motor: Schrittmotor (XYZ) - Antrieb: Kugelgewindetrieb (XYZ) - Führung: Profilschiene (XY) / Kreuzrolle (Z) - Feedback: Open Loop (XYZ) - Länge x Breite x Höhe: 2250 x 1500 x 1500 mm Kundenspezifische Optionen: - Ausstattung mit Linearmesssystem für Genauigkeiten bis 0.3 µm - Anreihbare Systemausführung - Sicherheitsumhausung - Sonderkonfiguration für Halbleiter, Biotechnologie, Pharma - Ausführungen für Reinraum ISO 14644-1 (bis Klasse 1 auf Anfrage) - Gebrauchsfertige Steuerung mit vorkonfiguriertem Controller inkl. Beispielsoftware