8-Achs-Positioniersystem 417815.2022.W3.AB

MehrachsenPortalmit Servoantrieb

Kundenspezifisch anpassbar: • Ideal für die Tangential-Abtastung mit vielseitigen Verstellungsmöglichkeiten • Korrektur der Kippungen und Seitenverschiebung bis 0.5 µm • Apertur von 45 mm für den Strahlengang • Luftgelagerter Drehtisch für Genauigkeiten bis 0.0005° Dieses Positioniersystem erlaubt eine Tangential-Abtastung in 6 Freiheitsgraden mit einer sehr hohen Wiederholbarkeit. Spezifikationen: - Standard System: DT250 (Rz) / MP200-5 (X, Y, Rx, Ry) / PMT160-DC-L (F) / PLT165-SM (Z) - Verfahrweg: n x 360 mm (Rz) / ±1.5 - ±2 mm (X, Y, Rx, Ry) / 90 mm (R) / 50 mm (F) / 100 mm (Z) - Wiederholgenauigkeit: 0.0005 - 0.001 µm (Rz) / ±0.5 - ±5.2 µm (X, Y, Rx, Ry) / 1 µm (R) / ±0.3 - ±0.4 µm (F) / ±3.9 - ±4.4 µm (Z) - Geschwindigkeit: 700-1400 mm/s (Rz) / 0.4 – 0.8 (XYZ) / 30-80 mm/s (FZ) - Max. Last: 20 N (Ry) / 40 N (F) / 150 N (Z) - Motor: Dynamischer Linearmotor (eisenlos) (Rz) / Schrittmotor (X, Y, Rx, Ry, Z) / manuell (R) - Antrieb: Luftlager (Rz) / Festkörper, Getriebe, Gleitgewindetrieb (X, Y, Rx, Ry) / Gleitführung (R) / Kreuzrolle, Kugelgewindetrieb (F) / Profilschiene, Kugelgewindetrieb (Z) - Feedback: Winkelmesssystem (Rz) / Open Loop (X, Y, Rx, Ry, Z) / Skale (R) / - Linearmesssystem (F) - Apertur: Ø 45 mm Kundenspezifische Optionen: - Kombinierbare Standardachsen für XYZ-Rx-Ry-Rz Bewegungen - Individueller Aufbau mit Gestell, Schwingungsisolierung, Umhausung - Prozessanpassung für Sensor/Messkop, Probenhalter - Auslegung für Reinraum, Labor und Produktion - Einbindung in Workflows per SPS oder PC-Steuerung