XYZ-Positioniersystem 782300:222.26

Portalfür Wafer-Inspektion und Metrologiemit Schrittmotor

Kundenspezifisch anpassbar: • Ideal für Oberflächeninspektion und Schichtdickenmessung großer Proben bis 650 x 650 mm • Präzise Vermessung mit Wiederholgenauigkeiten bis 2 µm • Gutes Preis-Leistungsverhältnis durch Antrieb mit Schrittmotor • Starke und robuste Z-Achse für Sensoren bis 20 kg • Geeignet für Industrieumgebungen z.B. Staub, Rauch Dieses Inspektionssystem ist speziell für die automatisierte Qualitätskontrolle großer und flacher Proben bis 50 kg entwickelt. Das Positioniersystem erlaubt die gleichzeitige Positionierung von Sensor in Z und Prüfling in XY auf sehr kompakten Bauraum. Spezifikationen: - Standardkomponente: PLT240-SM (X) / PLT165-SM (Y) / PLT165-Manuell (Z) - Verfahrweg: 650 mm (XY) / 100 mm (Z) - Wiederholgenauigkeit: ± 3.9 – ± 4.4 µm (XYZ) - Geschwindigkeit: 5 mm/s (XYZ) - Max. Last: 300 N (X) / 1000 N (Y) / 160 N (Z) - Antrieb: Schrittmotor (XY) / manuell (Z) - Feedback: Open Loop (XY) Kundenspezifische Optionen: - Verschiedene Verfahrwege bis 1000 mm - Mit/ohne Gestell und Grundplatte aus Granit oder Aluminium - Ausführungen ISO 14644-1 (bis Klasse 1 auf Anfrage) z.B. mit Einhausung und mit Absaugung - Individuelle Lösungen für die Kabelführung - Angepasste Vibrationsentkopplung mittels dämpfender Gummizwischenlage oder pneumatischer Dämpfer