XYZ-Positioniersystem 782430:002.26

Portalmit Linearmotormit Servoantrieb

Kundenspezifisch anpassbar: • Ideal zur automatisierten Inspektion von Wafern, Probecards und Leiterplatten • Inspektion mehrerer Objekte gleichzeitig durch Verfahrwege bis 720 mm • Ideal für die Integration von zwei Prozessen gleichzeitig • Wartungsarmer 24/7 Betrieb und flexibles Wartungskonzept durch den schnellen Systemaustausch auf der Granitstruktur Dieses Inspektionssystem besteht aus vier Reinraumachsen und ermöglicht die automatisierte Vermessung mehrer Objekte gleichzeitig. Hohe Dynamik und höchste Reproduzierbarkeit werden erreicht. Jeweils eine hochauflösende Kamera bzw. Sensor pro Seite wird relativ zur Probe verfahren um Geometrien zu prüfen, Messungen auszuführen und spezielle Qualitätsmerkmale zu dokumentieren. Spezifikationen: - Standardkomponente: PMT290-EDLM (XY) - Verfahrweg: 720 mm (XY) / 100 mm (Z) - Wiederholgenauigkeit: ± 0.3 – ± 0.7 µm (XY) / ± 1.5 – ± 2.5 µm (Z) - Geschwindigkeit: 750 mm/s (XY) / 150 mm/s (Z) - Max. Last: 150 N (XY) / ± 200 N (Z) - Max. Probengröße: [Ø] 12 inch / 300 mm - Länge x Breite x Höhe: 1230 x 1200 x 1030 mm - Antrieb: Dynamischer Linearmotor (eisenlos) (XY) / AC-Servo, Kugelgewindetrieb (Z) - Feedback: Linearmesssystem (XY), Motor Encoder (Z) - Reinraum Varianten: bis ISO-Klasse 2 Kundenspezifische Optionen: - Reinraumtauglichkeit für Reinraum ISO 14644-1 Klasse 2 (bis Klasse 1 auf Anfrage) - Anschlüsse für Absaugung und umlaufende Bandabdeckungen - Verfügbar auch als Einzelportal - Gebrauchsfertige Steuerung mit vorkonfiguriertem Controller inkl. Beispielsoftware