XYZ-Positioniersystem 782481:001.26

linearfür Wafer-Inspektion und MetrologieKugelgewindespindel

XYZ AFM-Gantry für Wafer Inspektion, Mikroskopie Kundenspezifisch anpassbar • Ideal für hochsteife und präzise Vermessungen ohne Einfluss von Schwingungen • Hoher Durchsatz durch Verfahrwege von 150 x 275 x 50 mm, erweiterbar auf 550 x 1550 x 50 mm • Extreme Stabilität im Stillstand von 5 nm und besser • Überragende Lebensdauer durch den Einsatz verschleißfreier Luftlager Dieses sehr steife XYZ Gantry ist speziell für die hochpräzise rasterkraftmikroskopische Untersuchung (AFM) von besonders großen Glasproben entwickelt. Über der u-förmigen Probenplattform befindet sich eine bewegliche Traverse in Z für das kundenspezifische AFM. - Standard System: MT130-SM (Z) - Hub: 275 x 150 x 50 mm - Wiederholgenauigkeit: 2.5 – ±6.5 µm - Geschwindigkeit: 50 - 100 mm (XY) / 30 - 60 mm (Z) - Max. Last: 40 N (Z) - Antrieb: Schrittmotor, Kugelgewindetrieb - Feedback: Open Loop Optional adaptierbar: Nanosurf bietet Ihnen kompakte, montierbare und kundenspezifische AFM-Systeme. Mehr Informationen erhalten