XY-2Z 4-Achs-Gantry mit Apertur
Kundenspezifisch anpassbar
• Ideal für punktuelle, differentielle Höhenmessungen unter kontinuierlicher Bewegung
• Beidseitige Z-Senor-Positionierer für die 70 x 100 mm Apertur
• Schwingungsgedämpfter Aufbau mit hervorragenden Ablaufwerten für Wiederholbarkeiten bis 1 µm
• Reduktion der Emission durch luftgelagerte Probenträger
• Überragende Lebensdauer und Wartungsfreiheit bei 24/7-Betrieb
Dieses XYZ-Gantry erlaubt hochpräzise beidseitige Inspektionsprozesse mit je 2 kundenspezifischen Sensoren / Mikroskopen für unterschiedliche Messanwendungen. Die erste Z-Achse befindet sich an der stationären Traverse, der zweite Sensor / Mikroskop ist an der Z-Achse unterhalb der Apertur angebracht. Der luftgelagerte Probenhalter bewegt den Prüfling in XY-Richtung zu der Apertur mit den beiden Sensoren an den Z-Achsen, welche jeweils um 100 mm in der Höhe verstellt werden können.
Spezifikationen:
- Standard System: PLT165-DLM (XY) / PMT160-DC (Z1, Z2)
- Hub: 600 x 600 x 100 x 100 mm
- Wiederholgenauigkeit: 0.2 – ±2 µm
- Geschwindigkeit: 500 - 1000 mm (XY) / 10 - 20 mm (Z)
- Max. Last: 150 N (Z)
- Antrieb: Linearmotor (eisenbehaftet), Profilschiene (XY) | Kugelgewindetrieb, DC-Motor, Kreuzrolle (Z) -
- Feedback: Linearmesssystem
- Motion Controller: ACS, SPS-Integration
- Apertur: 70 x 100 mm
- Lange x Breite x Höhe: 1850 x 1920 x 1150 mm
Kundenspezifische Optionen:
- Anpassung der Verfahrwege, Carrier und Längenkombinationen
- Sicherheitsumhausung und verschiedene Grundplatten
- Ausführungen ISO 14644-1 (bis Klasse 1 auf Anfrage)
- Individuelle Lösungsfindung mit 3D-Entwurf für die Positionieraufgabe