OPTISCHER PIEZO-VERTIKALTISCH
1. Bietet 1 Art von Verfahrbereich, der 10 mm beträgt
3. Hochpräzise 1 nm und Standard 100 nm typische Auflösung
BESCHREIBUNG
Das optische Sensorelement wird als Kern für die Positionsrückmeldung eingesetzt. Diese Produktserie ist für alle Anwendungen geeignet, die eine hochpräzise Positionierung und Bewegungssteuerung erfordern. Sie bietet nicht nur zuverlässige und stabile Positionierungsfähigkeiten, sondern auch verschiedene Auflösungsoptionen.
ANWENDUNGEN
Halbleiterindustrie Biomedizin Optoelektronik/Optische Kommunikationsindustrie
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