Seitenmontierter Magnetron MM Series

Rotation

Der MM ist unser mittelgroßer extern montierter Endblock. Er kann Ziele bis zu 2500 mm (unterstützt) bearbeiten und hat eine Leistung von bis zu 100 kW DC oder 80 kHz MFAC Der extern montierbare Endblock der MM-Serie verwendet dieselbe patentierte Technologie wie unsere Endblöcke der MC-Serie und bietet so ein hervorragendes Preis-Leistungs-Verhältnis, Leistung und Zuverlässigkeit in einem kompakten Design Eigenschaften Anpassbare Antriebswellenlänge Kompakte und flexible Bauweise Leicht zugängliche Wasserdichtungspatrone Patentierte Technologie zur Leistungsübertragung Patentierte Zielwasserbefüllung und -entleerung Einfache Konstruktion für weniger Teile Magnetleiste von außen auf jeden Winkel einstellbar Vorteile Breitere Substratabdeckung als interne Endblöcke Passt zu den meisten Kammerausführungen Alle Utilities sind extern und bleiben während der Zielumstellung angeschlossen Hohe Packungsdichte; Doppelkathoden auf 350 mm Platz Die Antriebsmotoren können nach oben oder unten und nach innen oder außen montiert werden Hohe Leistung ohne induktive Erwärmung - kein Bürstenstaub Schnelle, einfache, hausinterne Wartung Ermöglicht Co-Sputtern, engere Plasmaeinkopplung und begrenzt die Abschirmbeschichtung