SCI TRM-Bar™ und QRM-Bar™ Magnetics geben Ihnen die Flexibilität, die Sie benötigen. Ausgestattet mit gekapselten Magneten sind die Magnetbaugruppen an Ihre Prozessanforderungen anpassbar.
SCIs fortschrittliche magnetische Systemfunktionen beinhalten:
Mehrere magnetische Designs, um Ihren Anwendungsanforderungen gerecht zu werden
Fortschrittliche Magnettechnik mit 3D Finite-Elemente-Analyse-Software entwickelt
Sorgfältig abgestimmte, hochfeste Magnete, die werkseitig mit einem automatischen Magnetstabmessgerät kalibriert werden
Vollständig gekapselte Magnete und robuste Konstruktion für einen langjährigen, störungsfreien Betrieb
Langlebiges Mehrwalzensystem für Sputtern aufwärts, Sputtern abwärts oder Sputtern in einem anderen Winkel
Die Einstellung der magnetischen Gleichförmigkeit kann einfach im Feld vorgenommen werden
Einfaches Installationsverfahren mit Lösungen für vertikale Installationen
Eigenschaften
TRM-Bar™
Industrieerprobtes Design mit tausenden von Stäben im Einsatz
Hochrate-Reaktivmodus oder Metallmodus-Sputtern von optischen Schichten
mQRM-Bar™
Kleiner Magnet 4-reihiges Design erhöht die Festigkeit um 50% gegenüber dem TRM
Kein plasmabildendes Randfeld
Niedrigere Impedanz als das TRM
QRM-Bar™
Stärkere "zum Patent angemeldete" Magnete für das niederohmige Sputtern von TCOs und anderen elektrischen Folien
Erhöhte Sputtering-Effizienz reduziert den Stromverbrauch und die Betriebskosten
SRM80-Bar™ und TRM80-Bar™
Hochfeste Magnete, die hermetisch verschlossen sind
Fortschrittliche Magnettechnik mit 3D-Finite-Elemente-Analyse-Software entwickelt
Magnete sind in der Stärke innerhalb 1% abgestimmt
Großer Magnet, einreihige Ausführung
Einfache Installation in jeder möglichen Ausrichtung
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